暖通空调洁净室通风设计.docx
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1、暖通空调洁净室通风设计1、局部排风各种电子产品生产过程不可避免地将会有各类粉尘、有害气体、 有害物质的排出,防止它们在洁净室内扩散、污染的有效方法是 在相关设备处采取局部排风方式经处理达标后排至室外。对于如 下情况的局排系统应独立设置。排风介质混合后能产生加剧腐蚀性、毒性、燃烧爆炸危险性;排风介质中有毒与无毒,毒性相差很大;易燃、易爆与一般排风;洁净室排风系统设计时,应采取下列技术措施。为防止室外的气流倒灌流入室内,引起污染和积尘,常用防倒灌 措施:设置中效过滤器; 采用止回阀,使用方便但密封性较差;(3)采用密闭阀、密封性好,但结构复杂;采用自控装置等。含有易燃、易爆局部排风系统应采用与排出
2、物质相适应的防火、 防爆措施。排风介质中有害浓度及排放量超过国家或地区有害物排放浓 度及排放量规定时应进行无害化处理,达标后才能排入大气。对含有水蒸汽和凝结性物质的排风系统,应设坡度及排放口, 以即时排除凝结液。洁净厂房内的换鞋、存外衣、盥洗、厕所和沐浴等生产辅助房间, 应采取通风措施,其室内的静压值,应低于洁净区。洁净室应根据生产工艺要求设置事故排风系统。事故排风系统应 设自动和手动控制开关,手动控制开关应分别设在洁净室及洁净 室外便于操作的地点。一般对于有可能散发有害气体或易燃易爆 气体的洁净室(区)应设事故排风装置。排风系统的设备、管道和附件的制作材料、保温材料、涂料,应 根据排出的气体
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