集成电路工艺基础教学总结.docx
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1、集成电路工艺基础教学总结课程类别:专业课性质:必修课教学目标:教学目标1:培养科学观察和思维的能力,了解并掌握集成电路制造关键工艺的基本原理、方法、用途;熟悉主要工艺设备及检测仪器;能够简要叙述典型集成电路芯片的制造流程;教学目标2:掌握芯片制造关键环节薄膜制备、光刻、刻蚀和掺杂工艺流程及关键技术点;掌握组装工艺的工艺流程。培养学生认真严谨的学习和工作态度,为今后从事集成电路制造行业工作打下良好的基础。“以学为中心”的课堂中,主要以学生团队合作、与教师之间互动的形式进行学习。学生在互动中能学习到更多知识,获得更具体的学习体会。一方面,教师将自身丰富的专业知识传递给学生。另一方面,学生作为初次涉
2、及集成电路工艺基础课程的学习者,常常会突破专业界限,产生一些有创意的想法可供教师借鉴。同时,结合课程特点,针对课程中的不同内容,设计不同的授课思路,以期取得较好的效果。根据因材施教和以应用为导向的原则进行教学设计,授课时淡化公式的数学推导,重点强调物理意义、设计方法和应用领域,注重课程思政的融入,学生之间的相互交流和相互学习会极大地促进其对课程内容的认知,加深对所学专业理论知识的理解。课堂教学中引入思政元素,通过介绍集成电路工艺制作过程,引导学生认识到集成电路在科技前沿中的重要地位,建立国家科技研究的责任感与使命感。讲解课程前言时,通过讲授课程专业方向、科技前沿、励志故事等,弘扬爱国主义精神,
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