MACOM：硅基氮化镓器件成本优势.docx

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1、MACOM：硅基氮化徐器件成本优势作为一家具有60多年历史的公司，MACOM在射频微波领域经验丰富，该公司的首款产品就是用于微波雷达的磁控管，后来从真空管、晶体管发展到特殊工艺的射频及功率器件(例如硅化钱GaAs)。进入2000年，尤其是2010年以后，MACOM开始通过频繁收购来扩充产品线与进入新市场，如今的MACOM拥有包括氮化钱(GaN)硅钻(SiGe)磷化锢(InP)CMOS,碑化钱等技术，共有40多条生产线，3000多种产品，应用领域覆盖无线、光纤、雷达、有线通信及军事通信等领域，2016年营收达到了5.443亿美元。氮化钱是目前MACoM重点投入的方向，与很多公司的氮化钱采用碳化硅

2、(SiC)做衬底不同，MACOM氮化铁工艺的衬底采用硅基。硅基氮化铁器件既具备了氮化铁工艺能量密度高、可靠性高等优点，又比碳化硅基氮化铁器件在成本上更具有优势，采用硅来做氮化做衬底，与碳化硅基氮化铁相比，硅基氮化钱晶元尺寸可以做得更大，成长周期更短。MACOM现在已经在用8英寸晶圆生产氮化钱器件，与很多仍然用4英寸设备生产碳化硅基氮化钱的厂商不同。MACoM的氮化线技术用途广泛，在雷达、军事通信、无线和有线宽带方面都有应用。MACOM的氮化钱可用于替代磁控管的产品，这颗功率为300瓦的硅基氮化钱器件被用来作为微波炉里磁控管的替代。用氮化钱器件来替代磁控管带来好处很多：半导体器件可靠性更高，氮化铁器件比磁控管驱动电压更低，氮化铁模块尺寸更小，减少电控模块在微波炉的占用空间，功率变化和温度控制也更精确。MACOM将类似微波炉的应用称为“射频能量应用”。