磷化氢传感器在半导体制造业的应用.docx

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1、磷化氢传感器在半导体制造业的应用目录1 .磷化氢性质11. 1.概述12. 2.化学性质22 .磷化氢的毒性32.1.毒理32.1.1.急性中毒42.1.2.慢性中毒42. 2.急救措施43. 3.磷化氢的防护43.实现高精度的PF磷化复气体浓度检测装置43. 1.英国AIPhaSenSe磷化氢传感器-PH3-A153. 2.英国A1phasense磷化氢传感器-PH3-B154. 3.英国A1phasense磷化氢传感器-PH3-BE51磷化氢性质1.1. 概述磷化氢，是一种无机化合物，化学式为P出,是一种无色、有刺激性，是腐蚀性及强的有毒气体。纯净的磷化氢气体是无色无味的，但在金属磷化物产

2、生磷化氢气体时常带有乙块味或者大蒜味或者腐鱼味。如果遇到痕量其他磷的氢化物如乙磷化氢，会引起自燃。吸入磷化氢会对心脏、呼吸系统、肾、肠胃、神经系统和肝脏造成影响。同时，它是一种强还原剂，可与氧气、氮气、卤素及氢气等反应。PF磷化复在高温下与空气中的氧气反应会爆炸。它具有剧毒，可引起中毒及死亡。PG磷化复是一种高毒性气体，它的毒性主要表现在对中枢神经系统的损害，长期接触可导致神经系统疾病。PH3磷化氢是半导体行业中常用的气体之一，可用于制造磷化氢化学气相沉积(CVD)过程中，可以用作半导体材料的掺杂剂，以改变半导体的电性质。此外,磷化氢还可以用于制造太阳能电池、1ED等电子元器件。因此P出磷化氯

3、气体传感器在半导体制造业中广泛应用OPH3磷化氢为我们的半导体制造行业带来了很大的帮助，同时.，也有它的弊端，P&磷化氢的TV1(闻值限值)在0.3PPM以下，是一种对人体危害较大的气体，如果泄漏以及操作不当，容易中毒，反应主要表现为头痛、恶心、呕吐、腹痛、昏迷、抽搐等症状，严重时可导致死亡。长期接触PH?磷化氢可引起神经系统疾病。因此，在PG磷化氢的使用和生产过程中，必须采取有效的安全措施。1.2. 化学性质易燃：PH3与空气混合可形成易燃的混合物，具有爆炸风险，能自燃。毒性：磷化氢有剧毒，吸入后可对人体造成严重伤害。与金属的反应：某些金属在PH3的氛围下，可能生成相应的磷化物。1、能与氧气

4、剧烈反应，生成磷酸；与大部分卤素反应，生成五卤化磷，三卤化磷的混合产物及氢卤酸。2、通过灼热金属块生成磷化物，放出氢气：2Fe+2PH3=2FeP+3H23、与铜、银、金及他们的盐类反应。磷化氢不足：4CuSO4+PH34H2O=4Cu；+H3PO44H2SO4磷化氢过量：24CuSOi+I1PH3+12H2O=8Cu3P1+3H3PO4+24H2SO44、与空气混合物爆炸下限：1.79%(26gm3)0空气中含痕量P2H4可自燃,浓度达到一定程度时可发生爆炸。5、高于500C分解为磷和氢：2PH3=2P3H26、PH3具有强还原性，能还原多种金属化合物，如与CUSO4溶液作用生成Cu3P,与

5、AgNo3溶液作用生成Ag等：4AgNO3+PH3=4Ag+4NO2+H3PO1许多非金属化合物也能被PH?还原，如浓H2SO4被还原为S和S02o7、在盐酸中，P也能和甲醛反应：PH3HC14HCHO=P（CH2OH）JC1产物被用作棉织物的防火剂。8、微溶于水，其水溶液呈弱碱性且碱性弱于氨注意：由于在元素氢化物中，周期表第四、五主族氢写在后（如CH,，NH3）,六七主族写在前（如H20,HF）,是习惯的写法，所以磷化氢写成PH?而不是H3P!Po1arityofPhosphine(PH3)2.磷化氢的毒性2.1.毒理磷化氢为人体吸收相当快的剧毒气体，主要由呼吸道吸入中毒。空气中浓度若达到1

6、390mgm3o可使人迅速死亡。误服磷化钙、磷化铝、磷化锌后，可水解生成磷化氢，由肠道吸收中毒。磷化氢吸收后，除对呼吸道及胃肠道有局部刺激及腐蚀作用外，很快经过血液分布到肝、肾、脾等处，Ih后可遍及全身,并由尿排出，少量经肺呼出。磷化氢作用于细胞酶，影响细胞代谢，使其内窒息。故中枢神经系统、呼吸系统、心血管系统及肝、肾均受影响，以中枢神经系统受害最重、最早。磷化氢，是一种无机化合物，化学式为P%,是一种无色、剧毒、易燃的储存于钢瓶内的液化压缩气体。纯净的磷化氢气体是无色无味的，但在金属磷化物产生磷化氢气体时常带有乙焕味或者大蒜味或者腐鱼味。如果遇到痕量其他磷的氢化物如乙磷化氢，会引起自燃。吸入

7、磷化氢会对心脏、呼吸系统、肾、肠胃、神经系统和肝脏造成影响。磷化氢可以通过呼吸被吸收到体内。它会影响体内氧气的运输或干扰体内各种细胞对氧气的利用。短期呼吸接触磷化氢气体不应超过IPPM。过度接触磷化氢气体会导致呕吐、腹泻、呼吸困难、晕厥以及肺水肿。2.1.1.急性中毒中黑症状潜伏期一般在24h内，多数在1-3h,偶至2-3d。轻度中鼻咽干燥、咳嗽、胸闷、恶心、呕吐、腹痛、腹胀、头痛、失眠、乏力、低热、毒窦性心动过速等。中度中除上述症状加重外，并可出现嗜睡、轻度意识障碍，抽搐、肌束震颤、呼吸困毒难、肝损害、轻度心肌损害。重度中除上述症状外，患者并可出现惊厥、昏迷、休克、肺水肿、呼吸衰竭、明显心毒

8、肌损害等有关症状。2.1.2.慢性中毒患者可有似磷中毒样症状，如骨、齿的损伤，贫血及神经系统障碍。2.2.急救措施对吸入中毒者应立即将中毒者移至新鲜空气处，更换污染衣服，用水冲洗皮肤。误服磷化钙、磷化铝或磷化锌而致磷化氢中毒时，立即作如下处理：1、催吐：(1)刺激咽部引吐。(2)口服1%硫酸铜溶液4m1,每5-10分钟1次，直至呕吐为止。2、洗胃：用1:5000高锌酸钾反复洗胃，并灌入活性炭混悬液30-50g,以吸附毒物。3、导泻：用硫酸钠30g导泻，忌用油类泻剂，如莫麻油等。禁用硫酸镁。2.3.磷化氢的防护使用合适的防毒面具，佩戴护目镜。在处理PE时应始终在良好通风的环境中工作。车间里有特定

9、的气体探测器来实时监测PH?的浓度。处理磷化氢时，始终要保持警惕，遵循所有的安全操作程序。3.实现高精度的PH3磷化复气体浓度检测装置实现高精度的PH3磷化复气体浓度检测，及时发现可能存在的泄漏和安全隐患，并采取相应的措施，确保工作环境的安全和人员的健康。因此，PG磷化氢气体传感器对于保护人员的安全和减少环境污染具有重要意义。ISWEEK工采网技术工程师推荐以下型号检测磷化氢的气体浓度：iSweek3.1.英国AIPhaSenSe磷化氢传感器PH3A1磷化氢传感器-PG-A1电化学传感器具有灵敏度高，选择性好，可以过滤灰尘和小水滴，低浓度输出线性好，稳定性好，抗H2、CO、CO2、NH3的干扰

10、等优点，量程为010ppM,工作环境为-3050C,1590%RH,分辨率为0.03ppM,主要用在化工，粮仓，手持式PH3报警器等。3.2.英国A1phasense磷化氢传感器-PH3-B1磷化氢传感器-PH3-B1电化学传感器具有灵敏度高，选择性好，可以过滤灰尘和小水滴，低浓度输出线性好，稳定性好，抗C12、H2、Co2、NH3的干扰等优点，量程为010ppM,工作环境为3050C,1590%RH,分辨率为0.03ppM,主要用在固定式PH3报警器，化工，粮仓等工业领域。3.3.英国A1phasense磷化氢传感器-PH3-BE磷化氢传感器PH3-BE电化学传感器具有灵敏度高，选择性好，可以过滤灰尘和小水滴，低浓度输出线性好，稳定性好，抗C12、H2、CO2、NH3的干扰等优点，量程为02000ppM,工作环境为2050C,1590%RH,分辨率为2ppM,主要用在固定式PH3报警器，化工，粮仓等工业领域。