《电子科学与技术专业实验》课程教学大纲.docx

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1、电子科学与技术专业实验实验教学大纲课程代码：ABJD0535课程中文名称:电子科学与技术专业实验课程英文名称：Specia1izedFundamenta1ExperimentsofE1ectronicScienceandTechno1ogy课程性质：必修课程学分数：3学分课程学时数：3周授课对象：电子科学与技术专业本课程的前导课程：电子材料物理、微电子技术基础、光电子技术、电子功能材料与器件、电子陶瓷工艺原理与技术、化合物半导体材料与器件一、实验课程简介电子科学与技术专业实验是电子科学与技术专业新开设的一门专业综合实验课。本课程安排在第6学期，学生在完成学科基础课、专业基础课、部分专业课的理论

2、学习后，进行一次多课程、多知识点的综合运用知识实践课，使学生以学各个知识点、知识模块进行一次系统整合,培养学生系统运用知识解决问题的能力，提升学生的动力能力与专业学习兴趣，同时也能提高学生以后适应企业与研究机构的能力。二、实验项目的设置与要求(-)实验安排序号实验项目实验学时实验类型每组人数实验类别1四探针法测电阻率2验证2必做2霍尔系数和电导率测量4验证2必做3电介质材料的介电系数及损耗与频率的关系4验证/设计2选做4晶体管直流特性观测4验证2必做5固体电介质材料的体电阻和表面电阻的测量6验证/设计2必做6厚、薄膜制备技术4演示/设计2必做7双光干涉法测Sie)2层厚度及PN结结深4验证2选

3、做8椭圆偏振光测Sid膜的厚度和折射率4验证2选做9PN结光生伏特效应光谱特性研究4验证2选做10电子材料的设计、制备、性能测试16年口2必做11热敏电阻器的设计、制备、性能测试16坛2必做注：实验类型：演示/验证/综合/设计实验类别：必做/选做（二）实验项目的目的和要求1、四探针法测电阻率实验项目名称：四探针法测电阻率。内容提要：硅单晶片电阻率的测量、薄层电阻率的测量。实验目的：学习用四探针法测量半导体材料的体电阻率和扩散薄层的电阻率及方块电阻。教学方法与手段：讲授法。实验要求：掌握四探针法测量半导体材料的体电阻率和扩散薄层的电阻率及方块电阻。2、霍尔系数和电导率测量实验项目名称：霍尔系数和

4、电导率测量。内容提要：测量样品从室温至高温本征区的霍尔系数和电阻率。实验目的通过实验加深对半导体霍尔效应的理解；掌握霍尔系数和电导率的测量方法,了解测试仪器的基本原理和工作方法。教学方法与手段：讲授法。实验要求：掌握霍尔系数和电导率的测量方法；能判断样品的导电类型；求室温杂质浓度，霍尔迁移率；查阅迁移率或霍尔因子数据，逼近求解载流子浓度和迁移率；计算样品材料的禁带宽度。3、电介质材料的介电系数及损耗与频率的关系实验项目名称：电介质材料的介电系数及损耗与频率的关系。内容提要：电介质材料的介电系数&和介质损耗角正切tg与频率的关系。实验目的：测量几种电介质材料的介电系数和介质损耗角正切tg与频率的

5、关系，了解它们的、tg的频率特性；了解电容介质材料在各种频率范围内的测量方法。教学方法与手段：讲授法。实验要求：掌握四探针法测量半导体材料的体电阻率和扩散薄层的电阻率及方块电阻。4、晶体管直流特性观测实验项目名称：晶体管直流特性观测。内容提要：晶体管直流特性的测量。实验目的：熟悉晶体二极管、三极管的主要参数；学习使用万用表判断三级管极性和管脚的方法；晶体管特性图示仪测量晶体管的方法。教学方法与手段：讲授法。实验要求：掌握使用万用表判断三级管极性和管脚的方法；掌握晶体管特性图示仪测量晶体管的方法。5、固体电介质材料的体电阻和表面电阻的测量实验项目名称：固体电介质材料的体电阻和表面电阻的测量。内容

6、提要：测量电介质材料的绝缘电阻（体电阻率,表面电阻率）。实验目的：学会使用三电极系统测量电介质材料的绝缘电阻（体电阻率,表面电阻率）；了解受潮对材料表面电阻的影响.教学方法与手段：讲授法。实验要求：掌握三电极系统测量电介质材料的绝缘电阻（体电阻率,表面电阻率）。6、厚、薄膜制备技术实验项目名称：厚、薄膜制备技术。内容提要：多种厚、薄膜制备。实验目的：学习多种厚、薄膜制备技术的原理、工艺过程与膜质量的影响因素。教学方法与手段：讲授法。实验要求：掌握多种厚、薄膜制备技术的原理、工艺过程。7、双光干涉法测SiOz层厚度及PN结结深实验项目名称：双光干涉法测SiO2层厚度及PN结结深。内容提要：测量硅

7、片上热生长Si02层的厚度；测量PN结的结深。实验目的：了解干涉显微镜的结构并熟悉其工作原理；学习并掌握用干涉显微镜测量热生长SiC）2膜膜层厚度的方法。教学方法与手段：讲授法。实验要求：掌握用干涉显微镜测量热生长Si0?膜膜层厚度的方法。8、椭圆偏振光测Sid膜的厚度和折射率实验项目名称：椭圆偏振光测SiO2膜的厚度和折射率。内容提要：测量硅片上热生长二氧化硅层的厚度和折射率。实验目的：了解椭圆偏振测厚仪的结构特点并掌握其使用方法；通过实验掌握消光法椭圆偏振光测Si02膜厚度和折射率的基本原理和方法。教学方法与手段：讲授法。实验要求：掌握消光法椭圆偏振光测SQ2膜厚度和折射率的基本原理和方法

8、。9、PN结光生伏特效应光谱特性研究实验项目名称：PN结光生伏特效应光谱特性研究。内容提要：测量普通硅太阳能电池、背表面场硅太阳能电池的光谱响应。实验目的：熟悉分光光度计的基本结构并掌握其使用方法；通过实验过程了解PN结的光伏效应及其光谱特性的测试方法。教学方法与手段：讲授法。实验要求：掌握PN结的光伏效应及其光谱特性的测试方法。10、电子材料的设计、制备、性能测试实验项目名称：电子材料的设计、制备、性能测试。内容提要：电子材料（铁电、压电、微波）的设计、制备与性能测试。实验目的：学会电子材料的设计、制备与器件性能测试。教学方法与手段：讲授法。实验要求：掌握电子材料的设计、制备与器件性能测试。11、热敏电阻器的设计、制备、性能测试实验项目名称：热敏电阻器的设计、制备、性能测试。内容提要：热敏电阻器的设计、制备与性能测试。实验目的：学会热敏电阻器的设计、制备与器件性能测试。教学方法与手段：讲授法。实验要求：掌握热敏电阻器的设计、制备与器件性能测试。三、实验报告要求见实验报告。四、考核方式与成绩评定标准1、考核方法：考查。2、成绩评定：平时成绩占40%,期末测验（或撰写论文）占60%。五、教学参考资源1、参考书目：无2、主要网站：