电子行业专项监察工作手册（电子工业窑炉部分）.docx

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1、电子行业专项监察工作手册（电子工业窑炉部分）工业和信息化部2019年6月监察对象和内容（-）监察对象2（二）监察内容2二、监察工作程序2三、执行标准及能耗计算（-）执行标准3（二）能耗统计范围3（三）单位产品能耗计算5PM、卜1卜11M-7（一）企业自查7（二）监察机构初审7五、现场监察8（一）核查企业执行单位产品能耗限额标准情况8（二）核查企业执行淘汰落后制度情况9（三）核查企业能源计量情况9（四）核查企业执行能源消费统计制度情况10（五）核查企业装备和节能设施10（七）收集相关资料11（八）现场检查结果11六、监察结果及上报11附件1:止业自查报11模板12附件2：节能监察报告模板22附件

2、3:电子窑炉能耗专项监察结果汇总表28附件4：参阅材料30电子工业窑炉能耗专项监察工作手册为更好地贯彻落实工业和信息化部印发的关于印发2019年工业节能监察重点工作计划的通知（工信部节函（2019）77号），指导各地深入开展电子行业企业能耗专项监察工作，特制定本手册。一、监察对象和内容（一）监察对象监察对象为使用电子工业窑炉如氢气炉、真空炉、扩散炉、单晶炉、推板炉、网带炉、双通道推板式电窑等电子窑炉进行生产活动的企业。（二）监察内容主要监察内容为企业单位产品能耗限额标准执行情况、淘汰落后制度执行情况、能源计量管理制度执行情况、能源消费统计制度执行情况等。二、监察工作程序（一）企业按照有关要求进

3、行自查，向地方主管部门（或节能监察机构）提交自查报告（见附件1）；（二）地方主管部门委托节能监察机构对企业自查报告进行初审，按有关要求实施现场监察；（三）节能监察机构根据初审及现场监察情况，编制节能监察报告（见附件2）,报送主管部门；（四）省级主管部门汇总监察结果，编制“专项节能监察工作报告、按时报送工业和信息化部。三、执行标准及能耗计算(一)执行标准用能单位能源计量器具配备和管理通则(GB17167-2006)；综合能耗计算通则(GB/T2589-2008)；单晶炉能源消耗规范(SJ/T11450-2013)；扩散炉能源消耗规范(SJ/T11451-2013)；电真空器件用推板炉能源消耗规范

4、(SJ/T11452-2013)；网带炉能源消耗规范(SJ/T11453-2013)；电真空器件氢气炉能源消耗规范(SJ/T11667-2017)；电真空器件真空炉能源消耗规范(SJ/T11668-2017)；双通道推板式电窑能源消耗规范(SJ/T11669-2017)等。(二)能耗统计范围1 .单晶炉：统计单晶炉系统消耗的实耗电能量，即直接消耗电能量、冷却水折合电能量、氨气折合电能量之和；统计单晶炉合格产品产量，即统计期内单晶炉拉出的经检验合格的单晶硅棒的整体质量(包括头尾)之和。具体测算方式依据单晶炉能源消耗规范(SJ11450-2013)执行。2 .扩散炉：统计扩散炉系统消耗的实耗电能量

5、，即直接消耗电能量、冷却水折合电能量、氧气折合电能量、氮气折合电能量之和；统计扩散炉合格产品的折合产量。具体测算方式依据扩散炉能源消耗规范(SJ/T11451-2013)执行。3 .电真空器件用推板炉：统计电真空器件用推板炉系统消耗的实耗电能量，即直接消耗电能量、冷却水折合电能量、氢气折合电能量、氮气折合电能量之和；统计电真空器件用推板炉合格产品的折合产量。具体测算方式依据电真空器件用推板炉能源消耗规范(SJ/T11452-2013)执行。4 .网带炉：统计网带炉系统消耗的实耗电能量，即直接消耗电能量、冷却水折合电能量、氢气折合电能量、氮气折合电能量、压缩空气折合电能量之和；统计网带炉合格产品

6、的折合产量。具体测算方式依据网带炉能源消耗规范(SJ/T11453-2013)执行。5 .电真空器件氢气炉：统计电真空器件氢气炉系统消耗的实耗电能量，即直接消耗电能量、冷却水折合电能量、氢气折合电能量、氮气折合电能量之和；统计电真空器件氢气炉合格产品的折合产量。具体测算方式依据电真空器件氢气炉能源消耗规范(SJT116672017)执行。6 .电真空器件真空炉:统计电真空器件真空炉系统消耗的实耗电能量，即直接消耗电能量、冷却水折合电能量、氨气折合电能量、氮气折合电能量之和；统计电真空器件真空炉合格产品的折合产量。具体测算方式依据电真空器件真空炉能源消耗规范(SJ/T11668-2017)执行。

7、7 .双通道推板式电窑:统计双通道推板式电窑系统(包括炉窑加热元件、控制柜、推进机等)直接消耗的电能；统计双通道推板式电窑合格产品的折合产量。具体测算方式依据双通道推板式电窑能源消耗规范(SJ/T11669-2017)执行。(三)单位产品能耗计算各类电子工业窑炉的单位产品能耗计算均按照用能单位能源计量器具配备和管理通则(GB17167-2006)、综合能耗计算通则(GB/T2589-2008)执行。在此基础上，各类电子工业窑炉分别按照以下标准执行：单晶炉能耗计算应符合单晶炉能源消耗规范(SJ/T11450-2013),单晶炉的可比单耗小于或等于62.0kWh/kg的，能耗达到一级指标。单晶炉的

8、可比单耗在62.0kWhkg以上且小于或等于77.5kWhkg的，能耗达到二级指标，并评价确定单晶炉能耗水平。扩散炉能耗计算应符合扩散炉能源消耗规范(SJ/T11451-2013),扩散炉的可比单耗小于或等于18.0kWhkg的，能耗达到一级指标。扩散炉的可比单耗在18.0kWhkg以上且小于或等于3().0kWhkg的，能耗达到二级指标，并评价确定扩散炉能耗水平。电真空器件用推板炉能耗计算应符合电真空器件用推板炉能源消耗规范(SJ/T11452-2013),电真空器件用推板炉的可比单耗小于或等于6.0kWhkg的，能耗达到一级指标。电真空器件用推板炉的可比单耗在6.0kWh/kg以上且小于或

9、等于10.0kWh/kg的，能耗达到二级指标，并评价确定电真空器件用推板炉能耗水平。网带炉能耗计算应符合网带炉能源消耗规范(SJ/T11453-2013),网带炉的可比单耗小于或等于5.50kWh/kg的,能耗达到一级指标。网带炉的可比单耗在5.50kWh/kg以上且小于或等于8.00kWhkg的，能耗达到二级指标，并评价确定网带炉能耗水平。电真空器件氢气炉能耗计算应符合电真空器件氢气炉能源消耗规范(SJ/T11667.2017),电真空器件氢气炉的可比单耗小于或等于140kWhkg的，能耗达到一级指标。电真空器件氢气炉的可比单耗在1.40kWhkg以上且小于或等于2.20kWhkg的，能耗达

10、到二级指标，并评价确定电真空器件氢气炉能耗水平。电真空器件真空炉能耗计算应符合电真空器件真空炉能源消耗规范(SJ/T11668-2017),电真空器件真空炉的可比单耗小于或等于3.00kWhkg的，能耗达到一级指标。电真空器件真空炉的可比单耗在3.00kWhkg以上且小于或等于5.00kWhkg的，能耗达到二级指标，并评价确定电真空器件真空炉能耗水平。双通道推板式电窑能耗计算应符合双通道推板式电窑能源消耗规范(SJ/T11669-2017),双通道推板式电窑的可比单耗小于或等于5.40kWh/kg的，能耗达到一级指标。双通道推板式电窑的可比单耗在5.40kWhkg以上且小于或等于8.10kWh

11、kg的，能耗达到二级指标，并评价确定双通道推板式电窑能耗水平。四、企业自查及初审（一）企业自查企业应按有关要求全面开展自查工作，编制自查报告。自查报告格式内容见附件1（填写表1-1至表1-7）。（二）监察机构初审节能监察机构重点审查企业自查报告的信息填写完整性、数据前后一致性、能耗数据计算范围和过程的准确性、能耗限额对标达标情况等。具体审查要求如下：1 .企业概况审查企业生产规模、主要用能设备，统计核查年度（如2018年）产品产量、综合能源消耗量、能源消费种类及数量等。2 .能源消耗情况审查表1-1、1-2、1-3填报是否全面完整。主要审查是否按要求填报了产品产量、综合能耗情况、能耗品种及数量

12、、主要用能设备等，审查各种能源和耗能工质折标系数是否符合有关标准规定。3 .能耗限额标准达标情况审查能耗统计范围、产品产量统计及单位产品能耗计算是否符合相关标准规定，是否对单位产品能耗按照标准的限定值、准入值、先进值进行对标。4 .能源计量器具配备情况审查表1-4填报是否全面完整，审查企业能源计量器具配备与是否所用能源消耗种类相匹配。配备要求和配备率等术语解释参照用能单位能源计量器具配备和管理通则（GB17167-2006）o5 .能源管理情况审查表16填报内容是否完整。审查能源管理体系建立运行及认证情况，能源管理有关规章制度是否齐全及执行情况，能源管控中心建设情况。6 .节能措施和节能项目情

13、况审查表15填报内容是否完整。7 .存在问题及整改措施情况审查企业自查发现的问题，是否提出了明确的整改措施（包括时间表、具体负责人），制定的整改措施是否可行等。五、现场监察（一）核查企业执行单位产品能耗限额标准情况1核查企业能源统计台账和报表核查企业统计核查年度（如2018年）能源消费统计年报和各生产线M2月份月报表，并视情况抽查各生产线某月份13天的能源统计原始记录。核查企业统计核查年度（如2018年）生产统计年报和月报，随机抽查至少一个月生产统计日报，核实各生产线年度产品产量。2.核算单位产品能耗核查企业能源和耗能工质折标系数选取情况，包括选取的数值和依据。企业低位发热量应优先采用第三方检

14、测机构出具的检测值，若采用企业自测值，应核查企业检测实验仪器检定情况、测试方法及实验人员资格情况，企业不能提供以上检测数据的，低位发热量可采用综合能耗计算通则（GB/T2589-2008）标准推荐值。依据行业标准规定的单位产品能耗指标计算方法，计算单位产品综合能耗，将单位产品能耗实际值与标准规定的能耗限额进行比较，核查企业单位产品能耗限额标准达标情况。（-）核查企业执行淘汰落后制度情况查阅企业主要用能设备台账，核实型号、数量、生产时间、安装位置、功率、运行状态等数据，现场查验与设备台账的一致性。根据高耗能落后机电设备（产品）淘汰目录（第一至四批）、关于组织实施电机能效提升计划（2013-201

15、5年）的通知（工信部联节（2013）226号）、关于印发配电变压器能效提升计划（2015-2017年）的通知（工信部联节（2015）269号）规定,确定在用电动机、风机、水泵、锅炉和变压器等用能设备属于淘汰类的明细清单。（三）核查企业能源计量情况1 .核查企业能源计量管理有关文件，包括能源计量管理制度、能源计量岗位职责、能源计量管理人员培训和资格证书、能源计量器具台账或档案、检定证书、能源计量原始数据等书面资料。2 .核实能源计量器具配备率、完好率、检定率及运行情况。核查能源计量器具准确度等级，能源计量原始数据真实性、准确性、完整性等。（四）核查企业执行能源消费统计制度情况1现场核查企业能源消