高低温真空磁场探针台T8-EM4的技术指标.docx

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1、锦正茂高低温真空磁场探针台探针台配备4个（可选6个或8个）拥有高精度位移的探针臂，同时配有高精度电子显微镜，便于微小样品的观察操作。探针可通过直流或者低频交流信号，用来测试芯片、晶圆片、封装器件等，广泛应用于半导体工业、MEMS、超导、电子学、铁电子学、物理学、材料学和生物医学等领域。测试范围：磁特性测试、微波特性测试、直流、RF特性测试，微电子机械系统，超导电性测试，纳米电路的光电属性，量子点和线，高低温真空环境下的芯片测试，材料测试，霍尔测试，电磁输运特性等。技术指标：型号：T8-EM4真空度：高达IO8Pa腔体材质：无磁不锈钢或者铝合金磁场范围：200OGS5Omm磁场方向：水平（可按用

2、户要求设计成竖直方向的）配套电源：双极性电源50A电源稳定性：50ppm（可选1Oppm）制冷方式：液氮/液氮制冷/闭循环制冷机温度范围：5K-325K可选500K控温分辨率：0.0O1K控温仪相关温度稳定性：优于0.1K依赖于控温仪温度传感器：硅二极管/PT100/CemOXTM传感器数量：样品台、防辐射屏、探针臂各一个样品台尺寸：（max）50mm,平整度W7m样品台固定方式：真空硅脂/弹簧压片样品台材质：镀金无氟铜显微镜行程：X、Y平面2*2inch,精度IUm,Z轴行程N50.8mm放大倍数：16100X204000X真空腔观察窗尺寸：Iinch窗口材料：熔融石英（可选K9、氨化钙等）探针臂数量：2、4、6、8可选探针臂行程：（X-Y-Z）25mm-25mm-12mm可更换位移精度：接口形式：探针直径：针尖直径：探针材料：供电电压：IOUm/2Um/1Pm/0.7Um可选普通真空接头/三同轴接头/BNC/SMA等0.5Imm10m/5m/1IIm可选铝/GGBAC220V50Hz60Hz