行业标准《氧化铟锌靶材》（讨论稿）.docx

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1、ICS 77. 150.99CCS H 63中华人民共和国有色金属行业标准YS/T XXX-XXXX氧化锢锌靶材I nd i um-z i nc Ox i de Target（讨论稿）XXX义-X X-X X发布XXX X-X X-X义实施中 华人民共和国 工业和 信息化部发布YS/T xxxxxxxx本文件按照GB/T 1. 1-2020标准化工导则第一部分：标准化文件的结构和起草规则的规定起草。本文件的附录A为资料性附录。请注意本文件的有些内容可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别专利的责任。本文件由中国有色金属工业协会提出。本文件由全国有色金属标准化技术委员会(SAC/TC 243)归

2、口。本文件起草单位:西北稀有金属材料研究院宁夏有限公司、宁夏中色新材料有限公司、北京航空材料研究院有限公司、宁夏东方铝业股份有限公司。本文件主要起草人：左宁伟、征卫星、马肖、孙洪涛、王东新、李正飞、张红梅、孟将、方熙成。YS/T xxxxxxxx氧化钢锌靶材1 范围本文件规定了氧化钢锌靶材的技术要求、试验方法、检验规则及标志、包装、运输存贮、订货单（或合同）等内容。本文件适用于以氧化锢粉末、氧化锌粉末为原料、以常压烧结工艺生产的氧化锢锌靶材）2 规范性引用文件下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件的必不可少的条款。其中，注日期的引用文件，仅该日期对应的版本适用于本文件；不注日期的引用

3、文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本文件。GB/T 1551硅单晶电阻率测定方法GB/T 3850致密烧结金属材料与硬质合金密度测定方法GB/T 8170数值修约规则与极限数值的表示和判断3 术语和定义本文件没有需要界定的术语和定义。4 技术要求4.1 化学成分4.1.1 产品的主要成分质量百分比为: ZnO = 90: 10,偏差为土0.5。4.1.2 产品的杂质成分应符合表1的规定。表1杂质成分杂质含量，质量分数不大于（%）FeAlSiCaMgCuPbNiCd0.00250. 00100.00250. 00150. 00050.00050.00050.00050.00054.1.3

4、 需方如对产品的化学成分有特殊要求时，由供需双方商定。4.2 物理性能4.3 . 1密度：不小于6.85g/c不。4. 2. 2 电阻率：不大于1.0义10-2。cm。4. 3形状和尺寸产品呈片状或其它形状，其尺寸及偏差由供需双方商定。4. 4表面质量4. 4.1产品表面呈绿色或墨绿色，色泽均匀。4 . 4.2产品表面应平整，无裂纹，无明显崩边，目视无气孔。5 试验方法5.1 产品的化学成分分析方法按附录A规定进行。5 . 2产品密度的检测方法按GB/T 3850的规定进行。5.3 产品的电阻率用四探针法进行检测，可参考GB/T 1551硅单晶电阻率测定方法。5.4 产品的尺寸用相应精度的计量

5、器具进行测量。5.5 产品的表面质量用目视法检查。6 检验规则6.3 检查和验收6.3.1 产品应由供方质量技术监督部门进行检验，保证产品质量符合本文件或订货单（合同）的规定，并填写质量证明书。6.3.2 需方对收到的产品应按本文件的规定进行检验。如检验结果与本文件或订货单（合同）的规定不符时，应在收到产品之日起30天内向供方提出，由供需双方协商解决。如需仲裁，仲裁取样在需方由供需双方共同进行。6.4 组批产品应成批提交检验，每批应由相同混粉、成型、烧结工艺生产的产品组成。6.5 取样质量一致性检验的项目、产品的取样和制样应符合表2的规定。表2检验项目及取样检验项目取样规定要求的章条号试验方法

6、的章条号化学成分在混合粉中取待测粉末，每批取1个试样4.15.1密度在产品中按片（件）随机抽取10%的产品，但不少于1片（件）4.2.15.2电阻率在产品中按片（件）随机抽取10%的产品，但不少于1片（件）4.2.25.3尺寸逐件4.35.4表面质量逐件4.45.56. 4检验结果判定6. 4.1产品检验结果的数值修约和修约后数值的判定按GB/T 8170中的有关规定进行。6. 4. 2产品化学成分的检验结果与本文件规定不符时，应对同一组批混合粉取双倍试样进行不合格项复检，仍有一个试样的检验结果不合格时，判该批产品不合格。6. 4.3密度、电阻率检测结果与本文件规定不符时，应从同一组批产品中另

7、取双倍数量的试样进行重复试验。重复试验结果全部合格，则判该批产品合格。若重复试验结果中仍有试样不合格，则判该批产品不合格。6. 4.4产品的尺寸、表面质量检验结果与本文件的规定不符时，按片（件）判不合格。7标志、包装、运输、贮存和随行文件7. 1木小志每片（件）产品的包装上应标注注册商标（或企业标志），产品名称、批号及产品合格标志。7.2 包装7.2.1 每片产品应在洁净环境下采用真空包装，并采用相应的防震措施。7.2.2 需方对包装有特殊要求时，可由供需双方协商。7.3 运输运输过程中应注意防震、防潮、防压、防止二次污染。7.4 贮存产品应存放在干燥阴凉的库房。7.5 随行文件每批产品应附有

8、质量证明书，其上注明：a）供方名称；b）产品名称；c）批号；d）重量和件数；e）分析检验结果和质量监督部门印记；f）本文件编号；g）出厂日期（或包装日期）。8订货单（或合同）内容本文件所列产品的订货单（或合同）内应包括下列内容：a）产品名称；b）重量和件数；c）包装要求；d）交货日期；e）本文件编号；f）增加本文件以外内容的协商结果。7附录A(资料性附录)氧化锢锌靶材化学分析方法电感耦合等离子体发射光谱法A. 1范围适用于氧化锢锌(IZO)靶材中铁、铝、硅、钙、镁、铜、铅、银、镉等元素含量的多元素同时测定，也适用于其中一个元素的独立测定。各元素测定范围见表A.L表A. 1 各元素测定范围元素质

9、量分数/%Fe0.0010-0.0050Al0.00050.0020Si0.0010-0.0050Ca0.00050.0030Mg0.00010.0010Cu0.00010.0010Pb0.00010.0010Ni0.00010.0010Cd0.0001-0.0010A.2方法提要试料用盐酸溶解，在稀盐酸介质中，以氮等离子体为离子化源，直接进行电感耦合等离子体发射光谱测定铁、铝、硅、钙、镁、铜、铅、锲、镉等元素含量。A.3试剂和材料除非另有说明，本文件所用试剂均为符合国家标准或行业标准的优级纯试剂和二级水。A. 3. 1A. 3. 2A. 3. 3A. 3.4A. 3.5A. 3. 6盐酸(P

10、 =1. 19 g/mL) o盐酸(1+1)。钢基体:锌基体:铁、铝、铁、铝、Wm 299. 99% o收299. 99% o镉标准贮存溶液A. 3.7 铁、铝、镉混合标准溶液硅、钙、硅、钙、(A. 3.5)硅、钙、(A.3. 6)镁、铜、铅、银、镉标准贮存溶液：质量浓度分别为1000 U g/mLo镁、铜、铅、银、镉混合标准溶液：由铁、铝、硅、钙、镁、铜、铅、银、稀释配制，质量浓度分别为100 u g/mLo镁、铜、铅、银、镉混合标准溶液：由铁、铝、硅、钙、镁、铜、铅、银、稀释配制，质量浓度分别为10 u g/mLoA. 3.8氧气：体积分数299. 99%。A. 4仪器A. 4.1电感耦合

11、等离子体发射光谱仪，分辨率0.006 nm（200 nm处）。A. 4.2推荐各元素分析线的选择见表A. 2。表A. 2 各元素分析线（推荐）元素波长/nmFe259. 940Al396. 152Si251.611Ca317. 933Mg285.213Cu327. 396Pb220. 353Ni221.647Cd226. 502A,5试样试样为粉末状。A. 6分析步骤A. 6. 1试料称取试样LOO g,精确至0.0001 goA. 6.2测定次数独立地进行两次，取其平均值。A. 6. 3空白试验称取与试料对等的锢基体（A.3.3）和锌基体（A.3.4）,随同试料做空白试验。A. 6.4分析试

12、液的制备A. 6. 4. 1将试料（6.1）置于100 mL聚四氟乙烯烧杯中，以少许水润湿。加入10 mL盐酸（3.2）,低温加热至试料溶解完全，取下冷却至室温。将溶液移入100 mL塑料容量瓶中，用水稀释至刻度，混匀。A. 6.5系列标准溶液的制备A. 6. 5.1称取5份0. 7743 g锢基体（A. 3. 3）（相当于L 00 g氧化锢锌靶材样品中的锢含量）和0. 0803g锌基体（A.3.4）（相当于1.00 g氧化锢锌靶材样品中的锌含量），分别置于5个100 mL聚四氟乙烯烧杯中，按表A. 3分别加入各待测元素混合标准溶液，以下步骤按6.4. 1条操作。表A. 3系列标准溶液中各元素

13、质量浓度u g/mL元素StdOStdlStd2Std3Std4Fe、Al、Si、Ca、Mg、Cu、Pb、Ni、Cd00.050.100.501.00A. 6.6测定将系列标准溶液（A. 6.5.1）引入电感耦合等离子体发射光谱仪中，在选定的仪器工作条件下，测定系列标准溶液中各元素的强度，以质量浓度为横坐标，分析线发射强度为纵坐标，计算机自动绘制工作曲线。当工作曲线的线性相关系数达到0.999以上时，测定试料空白（A.6.3）溶液与试料溶液（A. 6.4.1）中被测元素的发射光强度，计算机自动由工作曲线给出被测元素的质量浓度。A.7分析结果的计算被测元素含量以被测元素的质量分数他计，按式A.1计算:-6(pj - p() V x 10(AJ)WM% = x 100%m式中：Pl一试液中钺的质量浓度，单位为微克每毫升（%/吐）；Po-空白溶液中皱的质量浓度，单位为微克每毫升（唬/血，）；V一溶液的总体积，单位为毫升（矶）；01一试料的质量，单位为克（g）o分析结果保留2位有效数字。