选择性必修2课题研究.docx
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1、选择性必修2课题研究研究样例半导体薄膜压力传感器特性的实验研究问题的提出半导体薄膜压力传感器(图研-D是一种易于网购、价格不贵的电学元件。它的工作原理是半导体材料的“压阻效应”。压阻效应是指当半导体材料沿某一方向受到外力作用时,其电阻率发生变化的现象。图研-1本课题的目的是了解半导体薄膜压力传感器在受到不同压力作用时其电阻是怎样变化的,这种变化有什么规律,以及这种规律在生产生活中的应用。实验装置如图研-2所示,取RFP602型半导体薄膜压力传感器一片,将其圆形敏感区域固定在铁架台支架平面上,用一个圆柱体质量块(祛码)压在该敏感面上。为使应变片受力均匀,在圆柱体与应变片之间垫一个面积相当于有效区
2、域的聚氨酯橡胶垫片。把一个U形金属框架的上沿压在圆柱体上并固定,框架下端悬吊钩码。图研-2调整U形金属框架、橡胶垫片和压在传感器敏感面上圆柱体的总质量,使其恰好为一只钩码的质量,即50go重力加速度g近似取10N/kg时,所对应压力的大小为0.5N。传感器的两根引线跟数字多用表两表笔相连。数字多用表选用电阻挡,可以直接测量传感器的电阻。改变钩码的数量,就改变了传感器所受的压力。该装置可以测量不同压力下传感器的电阻值。实验数据在仅有U形金属框架、橡胶垫片和压在敏感面上的圆柱体时,压力F的大小为0.5N,记录此时电阻R的示数,作为第1组数据。然后每悬吊(增加)一个钩码得到一组对应数据,填在下表中。
3、表半导体薄膜压力传感器在不同压力下的电阻压力/N0.511.522.533.54电阻k55.5234.6327.1725.2624.1422.1220.7718.96压力/N4.555.566.577.58电阻k18.3217.6517.0015.3315.0914.7413.9813.58数据分析以传感器所受的压力F为横轴、传感器电阻R为纵轴建立直角坐标系,用表中的16组数据在坐标系中描点,将这些点用光滑曲线连接起来(图研-3)。图研-3从图中可以看出:随着压力的增大,传感器的电阻不断减小;在压力小于2N的区间,曲线较陡,电阻随压力变化比较显著;压力大于2N以后,曲线变化趋于平缓。压力为IN
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