2023年半导体设备零部件行业行业深度分析word.docx

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1、内容目录1 .半导体设备零部件市场空间广阔，美国BIS新规加速国产替代51.1. 半导体设备零部件市场空间广阔51.2. 美日欧厂商主导全球半导体设备零部件市场61.3. 美国B1S新规加速半导体设备零部件国产替代72 .半导体设备零部件种类多、壁垒高、细分领域集中度高72.1. 半导体设备零部件是半导体设备的核心72.2. 半导体设备零部件种类繁多、美日欧厂商占据主要细分领域82.2.1. 石英制品：市场规模超过200亿，海外厂商主导102.2.2. 射频电源：美国两大巨头占据主要市场份额132.2.3. 真空泵：海外厂商占据90%以上市场份额132.2.4. 欧美日厂商统治市场，VAT占近

2、半壁江山152.2.5. 岸电吸盘：美日厂商垄断市场162.2.6. 机械手：日美企业主导市场182.3. 半导体设备零部件行业技术壁垒高、客户粘性强202.3.1. 技术壁垒202.3.2. 客户认证壁垒232.4. 技术壁垒高的半导体设备零部件国产化程度低243 .国内半导体设备零部件厂商国产替代正当时，未来成长空间巨大253.1. 国外半导体设备零部件龙头厂商成长路径253.2. 国内半导体设备零部件厂商国产替代正当时，未来成长空间巨大264.投资建议274.1. .富创精密284.2. 新莱应材304.3. 华亚智能334.4. 江丰电子354.5. 正帆科技38图表目录图1：1999

3、-2023年全球半导体市场规模预测5图2：2011-2023年全球半导体设备市场规模预测6图3：半导体设备零部件示意图8图4：半导体设备零部件产业链8图5：阿斯麦光刻机总体结构9图6:2023年中国大陆晶圆厂采购半导体设备零部件品类占比10图7：半导体石英制品11图8：石英制品产业链11图9：2012-2023全球半导体石英制品市场规模情况12图10：2023年中国石英制品市场竞争格局情况12图11：AdvancedEnergy射频电源13图12：射频电源发展史13图13：近6年MKS1nStrUment半导体业务收入情况13图14：近6年AdVanCedEnergy半导体业务收入情况13图1

4、5：Edwards真空泵RV314图16：真空泵在半导体领域的典型工艺环境应用14图17:20172023年全球半导体真空泵市场规模情况14图18：2023年全球半导体真空泵市场竞争格局15图19：VAT真空阀15图20：2016-2027全球半导体阀市场规模情况16图21：2023年全球半导体阀市场地区分布情况16图22:2023年全球半导体阀市场竞争格局16图23：海拓创新静电吸盘产品17图24：静电吸盘在半导体工艺过程中应用示意图17图25:京瓷静电吸盘产品及参数17图26：静电吸盘三层结构示意图17图27：20172028年全球方争电吸盘市场规模情况18图28：2023年全球静电吸盘市

5、场竞争格局情况18图29：新松真空机械手PHOENIXP1USB系列19图30：JE1机械手搬送晶圆示意图19图31：2016-2027年全球半导体机械手市场规模情况19图32：2023年全球半导体机械手厂商地区分布情况20图33：射频电源内部结构22图34：射频放大器主要参数22图35：AdvancedEnergyAPEX射频也源i支术指标22图36：新松真空机械手ARCHER系列产品23图37：新松真空机械手ARCHER系列主要参数23图38：EdWardS半导体真空泵iXH系列产品23图39：VAT真空门阀产品技术指标23图40：国际半导体设备客户认证流程24图41：2011-2023年

6、中国半导体设备市场规模情况27图42:2014-2023年国产半导体设备销售额情况27图43：公司发展历程28图44:公司主要产品29图45：2023年公司产品应用领域占比情况29图46：2023年公司产品结构占比情况29图47:公司近五年营业收入情况30图48：公司近五年净利泗情况30图49：公司近五年毛利率情况（）30图50：公司近五年净利率情况（）30图51：公司主要产品及应用领域情况31图52：22H1公司产品应用领域占比情况31图53：22H1公司产品结构占比情况31图54：公司近五年营业收入情况32图55：公司近五年净利泗情况32图56：公司近五年毛利率和净利率情况（）32图57：

7、公司近五年下游应用领域毛利率情况（）32图58：公司主要产品情况33图59：公司主要客户情况34图60：22H1公司主要产品占比情况34图61:21H1公司下游结构占比情况34图62：公司2016-2023年营业收入情况35图63：公司20162023年净利润情况35图64：公司2016-2023年毛利率情况（）35图65：公司2016-2023年净利率情况（）35图66：公司主要产品情况36图67：22H1公司主要产品占比情况36图68：22H1国内外收入占比情况36图69：公司2016-2023年营业收入情况37图70：公司2016-2023年净利润情况37图71：公司2016-2023年

8、毛利率情况（）37图72：公司2016-2023年净利率情况（）37图73:公司主要产品情况38图74：2023年公司下游行业占比情况38图75：2023年公司主要产品占比情况38图76：公司2016-2023年营业收入情况39图77：公司2016-2023年净利润情况39图78：公司2016-2023年毛利率情况（）39图79：公司2016-2023年净利率情况（）39表1：2023年国内主要半导体设备厂商直接材料占比情况6表2：2023年全球半导体设备零部件前10大供应商情况7表3:半导体设备零部件分类9表4：富创精密机械类金属工艺件和金属结构件技术参数指标21表5：石英制品技术参数指标2

9、1表6：2023Q1部分半导体设备零部件供应商及国产化率情况24表7：国外主要半导体设备零部件厂商情况25表8：国内主要半导体设备零部件厂商情况261 .半导体设备零部件市场空间广阔，美国BIS新规加速国产替代1.1. 半导体设备零部件市场空间广阔全球半导体市场长期稳定增长。根据WSTS的数据，全球半导体行业销售额从1999年1494亿美元增长到2023年5560亿美元，21年的复合增速为6.45%,全球半导体行业保持长期稳定增长。2023年消费也子市场需求有所放缓，电动车、新能源、物联网、5G/6G、人工智能、机器人等应用推动半导体行业继续增长，WSTS预计2023年全球半导体行业销售额为6

10、330亿美元，同比增长13.8%。图1:1999-2023年全球半导体市场规模预测资料来源：WSTS,中原证券半导体行业遵循“一代技术、一代工艺、一代设备”的产业规律，半导体设备是使半导体行业延续“摩尔定律”的瓶颈和关键。半导体设备厂商受益于全球晶BI厂持续提高资本支出。根据SEM1的数据，全球半导体设备的市场规模从2011年435亿美元增加到2023年1026亿美元，近十年复合增速为8.96%,其中中国半导体设备市场规模为296.4亿美元。由于数字化基础设施的强劲投资，半导体产业积极增加产能，近期SEM1发布报告称，2023年全球半导体制造设备营收有望创下新高，达到1175亿美元，同比增长1

11、4.7%o图2:20112023年全球半导体设备市场规模预测资料来源：SEMI,中原证券半导体设备零部件是半导体设备的核心，半导体设备的绝大部分关键核心技术需要以精密零部件作为裁I体来实现。根据全球半导体设备厂商公开披露信息，设备成本构成中一般原材料占比90%以上，考虑国际半导体设备公司毛利率一般在40%-45%左右，从而全部半导体设备零部件市场约为全球半导体设备市场规模的50%-55%o半导体设备零部件市场空间广阔“以半导体设备零部件占全球半导体设备市场规模的50%进行推算，根据SEMI的数据，2023年全球半导体设备市场规模1026亿美元，由此推算2023年全球半导体设备零部件市场规模为5

12、13亿美元，2023年中国半导体设备零部件市场规模为148亿美元；预计2023年全球半导体设备市场规模为1175亿美元，由此推算预计2023年全球半导体设备零部件市场规模为587亿美元。1:2023年国内主要半导体设备厂商直接材料占比情况公司名称毛利率直接材料占比北方华创39.41%81.45%中微公司43.36%88.38%拓荆科技44.01%94.48%芯源微华38.08%93.48%海清科盛44.73%92.87%美上海长42.53%92.59%川科技51.83%88.26%1.2. 资料来源：各公司年报，富创精密招股说明书，中原证券1.3. 美日欧厂商主导全球半导体设备零部件市场全球半

13、导体设备零部件市场主要被美日欧厂商所占据.根据CWor1d的数据，2023年全球主要的44家半导体核心零部件供应商中，美国供应商20家，占比约45%;日本供应商16家，占比约36%:德国供应商2家、瑞士供应商2家、韩国供应商2家、英国供应商1家等；美日欧半导体零部件供应商占比超过90%,主导全球半导体设备零部件市场。根据V1SIResearch的数据，2023年全球半导体设备零部件前10大供应商包括有蔡司ZEISS（光学镜头）、MKS仪器（MFC、射频电源、真空产品）、Edwards（真空泵），AdvancedEnergy（射频电源）、Horiba（MFC）,VAT（真空阀件）、IChOr（模

14、块化气体输送系统以及其他组件）、U1traC1eanTech（真空阀件）、ASM1（光学部件）及EBARA（干式真空泵），全球前十大半导体设备零部件供应商近10年的市场份额总和稳定在50%左右。表2:2023年全球半导体设备零部件前10大供应商情况排名厂商名款所在国家主委产品收入规模（亿美元）1ZEISS德国光学镜头21.22MKS仪器美国MFC、射频电源、真空产品真空泵143Edwards英国射频电源13.84AdvancedEnergy美国MFC6.125Horiba日本真空阀件4.946VAT瑞士模块化气体输送系统及其他组件4.37Ichor美国真空阀件3.88U1traC1eanTech美国光学部件3.59ASM1荷兰干式真空泵310EBARA日本31.4. 资料来源：V1SIResearch,中原证券1.5. 美国BIS新规加速半导体设备零部件国产替代美国BIS新规加速半导体设备零部件国产化进程。2023年12月15日，美国商务部产业安全局（BIS）发布文件计划将长江存储、上海微电子、寒武纪等36家中国实体加入实体清单。2023年10月7日，美国商务部产业安全局（BIS）宣布了一系列在出口管理条例下针