洁净度等级和检测方法.docx
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1、洁净度等级和检测方法ISO规定的洁净度等级以及传统分级,新版GMP附:ISO规定的洁净度等级以及传统分级ISO14644分级*高浓度极限(颗粒数/m3 )近似对应传统0.1 m0.2m0.3m0.5m1.0m5.0mISO 1 级102ISO 2 级10024104ISO 3 级1,0002371023581级ISO 4 级10,00()2,3701,0203528310级ISO 5 级100,00023,70010,2003,52083229IOO级ISO 6 级1,000,000237,000102,00035,2008,3202931,000 级ISO 7 级352,00083,2002
2、,93010,000 级ISO 8 级3,520,000832,00029,300100,000 级ISO 9 级35,200,0008,320,000293,000新版GMP空气悬浮粒子的标准规定如下表:洁净度级别悬浮粒子*大允许数/立方米静态动态20. 5 P m25. O m20. 5 P m25. OymA级352020352020B级3520293520002900C级3520002900352000029000D级352000029000不作规定不作规定注:(1)为确认A级洁净区的级别,每个采样点的采样量不得少于1立方米。A级洁净区空气悬浮粒子的级别为 ISO 4.8 ,以50m的
3、悬浮粒子为限度标准。B级洁净区(静态)的空气悬浮粒子的级别为ISO 5 ,同时包括 表中两种粒径的悬浮粒子.对于C级洁净区(静态和动态)而言,空气悬浮粒子的级别分别为ISO 7和ISO 8 对于D级洁净区(静态)空气悬浮粒子的级别为ISO 8.测试方法可参照ISol4644-1。ISO 14644-1洁净室分级标准及取样方法国际标准化组织ISO的相关工作组历时多年修订,2015版 ISO14644-1 Cleanrooms and associated controlled environments Part IzCIassification of air cleanliness by par
4、ticle concentration (洁净室及相关受控环境第一部分:空气洁净度分级)终 于2015年12月15日己经正式发布,它是洁净室级别判定的纲领性文件。根据本人浅薄的知识,斗胆对2015版(新版)和1999版(老版)的 四个主要差别进行粗陋的“揣读”。1洁净度分级表分级表中规定了在各个洁净度级别下对应各个粒径的上限浓度(the maximum particle concentration at Variousparticle sizes)。Table 1 ISO Classes of air cleanliness by particle concentrationISO Class
5、 number (DMaximum allowable concentrations (particlesm3) for particles equal to and greater than the considered sizes, shown belowa0,1 m0,2 n0.3 m0.5 m1 m5 m1l(dddde21002dde3100023710233de410 0002 3701020352眇eSioo Ooo23 70010 2003S20832e.f610 000237 000102 00035 2008 3202937CCC3S2 00083 2002 9308CCC
6、3 520 000832 00029 30098CCC35 200 0008 320 000293 0001999版TaWt 1 - S!CtW arbofn paculat clanlness ciasss for clnrooms and clean zonsISO Ciassiftcation numberNiaximum concentration IEIS (partcfesm, of air) for partides equal to and larger than te ConSldefed sizes shown below (ConCentratton limits are
7、 calculated m accordance with equation (1) m 32)0.1 m0.2 f0.3 m0.5 m1 m5 mISOClass 1102ISO Class 2124104ISO Class 31000237102358ISO Class 41002 3701 02035283ISO Class 5WO(X)O23 70010 23 52032U 29ISOOass61000 000237 000102 00035 2008 320ISO Class 7352 (XX)83 2002 930ISO Class 83 520 0832 029 3ISO Cla
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