显影清洗机单机试运转及验收范例.docx

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1、显影清洗机单机试运转及验收范例试运转前应检查下列项目，并应在符合要求后进行单机试运转：1环境温度应为222,相对湿度应为30%70%,洁净度等级应不低于ISO7级，室内灯光应为黄色；2电源供电电压允许偏差应为额定电压（380V）的10%,电源频率偏差允许应为标准频率（50HZ）的2%；3压缩空气进气压力应为（0,30.6）MPa,进气流量不小于601min;4氮气供气压力应为（0.30.5）MPa,进气流量不小于301min;5去离子水压力应为（0.250.4）MPa,流量不小于101mi,电阻率不小于16MQem；6接地引出端应与厂房接地系统稳固连接，接地电阻小于4。E.4.2验收项目应符合

2、下列要求：1压缩空气气源接口应能承受不小于0.7MPa的气源压力；2氮气气源接口应能承受不小于05MPa的气源压力；3去离子水接口应能承受不小于0.5MPa的压力；4可实现上下片、中心定位和显影腔体三工位传送晶片，R向传送精度平均值应不大于0.1mm；5承片台可真空吸附定位晶片，连续运行不掉片；6主轴转速范围应在50rpm500OrPm之间，速度增量应为Irpm,速度精度应为5pm；7显影单元应具备柱状/雾状两种喷嘴可选，显影液温度范围应在15C。30C。之间，控温精度应为0.5C。；8干燥单元应在室温80C。之间，过滤精度应为0.02m;9去离子水冲洗压力范围应在0.15MPa0.30MPa之间，流量范围应在21min61min之间；10设备正常运行时，用声级计在其水平面四个方向上，离地高度1.2m,距离机壳1m处测量噪声，以每天暴露时间8h计，其等效连续A声级噪声不应大于70dB（A）0