光刻机生产设备单机试运转及验收范例.docx
《光刻机生产设备单机试运转及验收范例.docx》由会员分享,可在线阅读,更多相关《光刻机生产设备单机试运转及验收范例.docx(3页珍藏版)》请在第一文库网上搜索。
1、光刻机生产设备单机试运转及验收范例E.1.1试运转前应检查下列项目,并应在符合要求后进行单机试运转;1环境温度应为22C1C,相对湿度应为40%60%,洁净度等级应为5级,室内光线应为黄色。2三相交流电源电压应为220V10%,频率应为501Hz3机壳应有良好的接地。4压缩空气压力应为0.50.7MPa05真空压力应为一0055-008MPa06安装间内不得有腐蚀性气体、电磁辐射,振动频率大于等于IoHZ时,安装机器周围的振动幅度应小于3m,振动频率小于IOHZ时,安装机器周围的振动幅度应小于1.5m7开机前按钮均应处在关闭状态。E.1.2验收项目应符合下列要求:1设备验收应符合表E.1.2的
2、规定。序号项目规范验收条件测试数据1分辨率0.4m1&S镜头5个点位测试2公共焦深工0.6Um镜头5个点位的0.4um分辨率的测试条测试3总体焦点偏差0.40m镜头5个点位的0.4Um分辨率的测试条测试4像面倾斜Within0.35m镜头5个点位测试5弯曲Within0.2m镜头5个点位测试7镜头畸变Within50nm标准测试方式8焦点测量重复性3IOOnm20次测量9长期焦点稳定性测试Within0.3m一周测试10镜头控制精度D倍率控制精度2)焦点控制精度1) Within20m2) Within0.15um镜头加热IOOmin,冷却180min测试11最大曝光区域22.0mm(hor.
- 配套讲稿:
如PPT文件的首页显示word图标,表示该PPT已包含配套word讲稿。双击word图标可打开word文档。
- 特殊限制:
部分文档作品中含有的国旗、国徽等图片,仅作为作品整体效果示例展示,禁止商用。设计者仅对作品中独创性部分享有著作权。
- 关 键 词:
- 光刻 生产 设备 单机 试运转 验收 范例