基于共聚焦显微技术的显微镜和荧光显微镜的区别.docx

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1、基于共聚焦显微技术的显微镜和荧光显微镜的区别荧光显微镜主要应用在生物领域及医学研究中，能得到细胞或组织内部微细结构的荧光图像，在亚细胞水平上观察诸如Ca2+、PH值，膜电位等生理信号及细胞形态的变化，是形态学，分子生物学，神经科学，药理学，遗传学等领域中新一代强有力的研究工具。以共聚焦技术为原理的共聚焦显微镜，是用于对各种精密器件及材料表面进行微纳米级测量的检测仪器。材料科学的目标是研究材料表面结构对于其表面特性的影响。因此，高分辨率分析表面形貌对确定表面粗糙度、反光特性、摩擦学性能及表面质量等相关参数具有重要意义。共焦技术能够测量各种表面反射特性的材料并获得有效的测量数据。基于共聚焦显微技术

2、的VT6000共聚焦显微镜，结合精密Z向扫描模块、3D建模算法等，可以对器件表面进行非接触式扫描并建立表面3D图像，实现器件表面形貌3D测量。在材料生产检测领域中能对各种产品、部件和材料表面的面形轮廓、表面缺陷、磨损情况、腐蚀情况、平面度、粗糙度、波纹度、孔隙间隙、台阶高度、弯曲变形情况、加工情况等表面形貌特征进行测量和分析。应用1 .MEMS微米和亚微米级部件的尺寸测量，各种工艺（显影，刻蚀，金属化，CVD,PVD,CMP等）后表面形貌观察，缺陷分析。2 .精密机械部件，电子器件微米和亚微米级部件的尺寸测量，各种表面处理工艺，焊接工艺后的表面形貌观察，缺陷分析，颗粒分析。3 .半导体/1CD各种工艺（显影，刻蚀，金属化，CVD,PVD,CMP等）后表面形貌观察，缺陷分析非接触型的线宽，台阶深度等测量。4 .摩擦学，腐蚀等表面工程磨痕的体积测量，粗糙度测量，表面形貌，腐蚀以及亚微米表面工程后的表面形貌。倒金字塔激光孔有图晶圆微透镜阵列15.101m