国产集成电路生产设备JPECVD(单片式)HPVD(溅射).docx

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1、国产集成电路生产设备JPECVD（单片式）HPVD（溅射）单机试运转及验收范例JPECVD（单片式）：试运转前应检查下列项目，并应在符合要求后进行单机试运转；1环境洁净度等级应为5级，环境温度应为22C0.5C,相对湿度应为45%5%；2三相交流电源：AC380V10,频率501HzAC208V10,频率501Hz；3设备机壳应有良好的接地，接地电阻W1Q；4系统控制柜、传送系统、工艺腔室系统、气路系统、射频系统、真空系统、水冷系统等均可正常运行；5二次配管系统的连接、标识、压力、阀门状态等检查正常；4驱动氮气压力：0.50.7MPa;6真空本底压力：8E-8Torr;7工艺冷却水压力应为0.

2、5MPa;8射频电源频率13.56MHz,负载匹配良好；9所有安全互锁功能正常开启；10正常上电开机后无故障报警。验收项目应符合下列要求：1整机系统上电后，系统界面显示各模块在线，系统及各模块运行正常；2传输模块和工艺模块工作正常，无异常报警；3EMO功能正常，且安全互锁工作正常；4系统传片测试，连续传片500片无报警，晶圆表面无划伤；5整机系统控制正常，安全防护功能正常。HPVD（溅射）试运转前应检查下列项目，并应在符合要求后进行单机试运转：1环境洁净度等级应为5级，环境温度应为22C0.5C,相对湿度应为45%5%；2三相交流电源：AC380V10,频率501Hz0AC208V+10,频率

3、501Hz；3设备机壳应有良好的接地，接地电阻W1Q；4系统控制柜、硅片传送系统、工艺腔室系统、气路系统、抽真空系统、水冷系统、排气系统等均可正常运行；5二次配管系统的连接、标识、压力、阀门状态等检查正常；6压缩空气压力：0.50.7MPa;7真空本底压力：8E-8Torr;8工艺冷却水压力：0.220.25MPa;9氮气压力：静态压力应为2.32.35MPa,动态压力应为2.93.2MPa；10安装间内不得有腐蚀性气体、电磁辐射，振动频率大于等于IoHZ时，安装机器周围的振动幅度应小于3tIm,振动频率小于IOHZ时，安装机器周围的振动幅度应小于1.5m；11所有安全互锁功能正常开启；11正常上电开机后无故障报警。验收项目应符合下列要求：1整机系统组装调整无误,各电缆接线连接正确、可靠，系统上电后无故障；2上位机图形用户界面显示各模块在线，系统及各模块运行正常；3传输模块和工艺模块的真空度、漏率指标：真空度8E-8Torr,压升率:IOOOOnTorrZmin;4EMO功能正常，且安全互锁工作正常；5整机马拉松传片测试，连续传片500片无报警，晶圆表面无划伤，AWC数据至少3mm。