10三氟化硼安全周知卡.docx

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四川广义微电子股份有限公司Sichuan General Microelectronics Co., Ltd危险化学品安全周知卡品名三氟化硼分子式BF3危险性腐蚀品有毒品吸入有害健康,呼吸道烧伤,皮肤烧伤，眼 睛烧伤。容器受热可能爆裂或爆炸。三氟化硼 遇水或潮湿空气会产生易燃和/或有毒气体。预防措施：本物质属于高毒性，穿戴供气式呼吸防护具，避免任何吸入之可能；使用前以惰性气体进行管路数 次；装置钢瓶或管路后，应进行管路压力测试。所有管线与设备需测漏无误后方可使用；使用机台或区 域装置气体侦测器；在有良好的通风系统、阴凉、干燥、无外力碰撞的环境使用；严禁任何火源靠近或 加热钢瓶。事故响应：如果可能在人员无任何危险时切断泄漏源。喷水可减少蒸汽。不要将水直接喷到该物质上。撤离无 关人员，隔离有害区域并禁止进入。站在上风高地处。进入之前使封闭空间通风，并检测HF浓度，并应 依个人防护装备需求穿戴必要的防护器材。撤离半径：150英尺；远端控制系统进行泄漏阻断及排气通 风；制程设备发生泄漏，关闭瓶阀，安全的排放压力。个人防护用品：必须穿防护服必须戴防毒面具必须戴防护手套报警电话:0825-5808220 （控制中心）请参阅化学品安全技术说明书化学事故响应电话：0825-5809007 18011178227 （EHS值班电话）