晶圆探针台概述.docx

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晶圆探针台概述晶圆探针台是一种成熟的工具,用于测试硅晶片、裸片和开放式微芯片上的电路和设备。探针台允许用户将电子、光学或射频探针放置在设备上，然后测试该设备对外部刺激(电子、 光学或射频)的响应。这些测试可以很简单，例如连续性或隔离检查，也可以更复杂，涉及 复杂微电路的全功能测试。探针台可以在整个晶圆上或被锯成单个芯片后运行测试。整个晶圆级的测试允许制造商 在整个生产过程的不同阶段多次测试设备，并密切监控制造以查看是否存在任何缺陷。在最 终封装之前对单个芯片进行测试可以将有缺陷的器件从流通中移除，确保仅封装功能器件。 探针台在整个研发、产品开发和故障分析中都有很大的用途，工程师需要灵阿活而精确的工 具来对设备的不同区域进行一系列测试。让一个好的探针台与众不同并为您的测试增加价值的是它能够精确控制这些探针在设 备上的位置、外部刺激的应用方式以及测试发生时设备周围的环境条件。探针台由六个基本组件组成：ChUCk一种用于固定晶片或裸片而不损坏它的装置。载物台一用于将卡盘定位在X、Y、Z和Theta ()上。机械手一用于将探头定位在被测设备(DUT)上。压板一用于固定操纵器并使探针与设备接触。探头尖端和臂一安装在机械手上，它们直接接触设备。光学一用于查看和放大被测设备和探头尖端。