台阶仪在新材料纳米加工中的优势.docx

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1、台阶仪在新材料纳米加工中的优势台阶仪亚埃级垂直分辨率能够实现纳米级别的测量和分析,仪器具备出色的精确性和稳定性。 在纳米加工领域，台阶仪不仅能准确评估材料的表面形貌和结构，同时也为纳米加工过程 的控制和优化提供了可靠的依据。利用台阶仪实时观测材料表面的微观变化，并对其进行 全面的分析和表征，这对于了解材料的晶体结构和电子性质等方面至关重要。台阶仪线性可变差动电容传感器(LVDC),具有亚埃级分辨率，13Um量程下可达0.01埃。 高信噪比和低线性误差，使得产品能够扫描到几纳米至几百微米台阶的形貌特征。具有出色 的重复性和再现性，可以准确测量蚀刻、溅射、SIMS、沉积、旋涂、CMP等工艺期间沉积

2、 或去除的材料。1 CHOTESTCP200测量功能(1)台阶高度：能够测量纳米到330m甚至IOOOm的台阶高度(2)粗糙度与波纹度：能够测量样品的粗糙度和波纹度，分析软件通过计算扫描出的微观 轮廓曲线，可获取粗糙度与波纹度相关的Ra、RMS、Rv、Rp、RZ等20余项参数；(3)翘曲与形状：能够测量样品表面的2D形状或翘曲，如在半导体晶圆制造过程中，因 多层沉积层结构中层间不匹配所产生的翘曲或形状变化,或者类似透镜在内的结构高度和曲 率半径。台阶仪的应用，不仅能帮助科研人员解决纳米材料表面形貌难题，还为纳米加工提供了重要 参考。止匕外，台阶仪还具有适用范围广的优点。它对测量工件的表面反光特性、材料种类、 材料硬度都没有特别要求。I典型应用玻璃基板及显示器应用柔性电子器件薄膜应用半导体应用大型基板应用台阶仪具有测量精度高、测量速度快、适用范围广等优点，它的应用不仅能够提高纳米加 工的效率和质量，同时也为材料工程领域的研究提供了新的视角。