如何选择合适的探针台.docx

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1、随着电子技术的不断发展，越来越多的精密细小器件逐步开放和增长，作为对细小器件 检测的必备仪器一探针台也显得越来越重要。探针台可以将待测器件进行放大几十到上千 倍，可将微观层面的东西搬到宏观上来进行研究，连接测试仪器仪表进行测量。那么如何选 择一款适合的探针台显得尤为重要。第一，我们需要选择合适尺寸的样品座，会有2英寸、4英寸、6英寸、8英寸和12英 寸之分，如果我们测试的样品是大的晶圆或器件，我们还需要注意的是，探针是否能满足扎 到样品的任意位置。第二，我们选用探针臂的数量和类型，可以最多同时搭载6个探针臂，探针臂的类型有 直流臂、射频臂和微波臂，会配备相应的探针。第三，因为不同的测试，我们需

2、要对应的测试环境，我们可以选择是否带有磁场，磁场 是固定的还是变磁场，对应的就要配备永磁铁和电磁铁。第四，我们的测试是否有温度需要，我们需求的温度范围是多少，有室温、4K-室温阶 段（真空下）、有液氮温度-800K （真空下），对应的是室温手动探针台、4K闭循环探针台、 液氮高低温真空探针台。第五，我们需要明白自己的测试样品是多大的电极点或者Pad点，需要选择一款适合 自己显微镜系统，有最小识别3pm、lm, 0.1m之分，因为随着显微镜的放大倍数的增 大，相应的显微镜的工作距离会缩短（物镜到样品表面的距离），我们要考虑关于工作距离 的要求，同时一般建议我们探针直径最好是不大于Pad点的四分之一，利于扎针和测试。第六，如果我们探针台的放置位置有空间尺寸的限制，我们需要考虑整体探针台的大小 尺寸。总体来说，如何购买一台适合自己的探针台，我们需要考虑多方面的内容。可以根据每 家探针台厂家的参数及价格进行对比，最终可以买到一台适合自己需求的设备。