单片超大尺寸掩模板装载盒规范_SJT 11863-2022.docx

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1、ICS31.030CCS190中华人民共和国电子行业标准SJZT118632023单片超大尺寸掩模板装载盒规范Specificationforu1tra1argesizemasksubstratecase2023-10-20发布2023-01-01实施中华人民共和国工业和信息化部发布前言I1范围12规范性引用文件13术语和定义14要求1本标准按照GB/T1.1-2023标准化工作导则第1部分：标准化文件的结构和起草规则的规定起草.请注意本文件的某些内容可能涉及专利.本文件的发布机构不承担识别专利的责任.本文件由全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SACyrC203)提出并归口。本文件主要起草

2、单位：工业和信息化部电子工业标准化研究院、深圳清溢光电股份有限公司。本文件主要起草人：王香、曹可恩14Wfc张莹、冯亚斌、张理、付雪涛。单片超大尺寸掩模板装载盒规范1范围本标准规定了液晶显示器生产工艺中使用超大尺寸掩膜基板装载盒范。本标准适用于液晶显示器生产工艺中使用盛装超大尺寸掩膜基板装载盒，本标准适用于掩模基板尺寸范围为大于等于85On1mX1200mm,小尺寸参照执行。本文件适用于掩膜基板自动装卸处理，尤其对于大尺寸掩模板是必不可少的。2规范性引用文件下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款。其中,注日期的引用文件,仅该日期对应的版本适用本文件；不注日期的引用文件，

3、其最新版本（包括所有的修改单）适用于本文件。,SV11516-2015薄膜晶体管（TFT）用掩模版规范3术语和定义下列术语和定义适用于本文件。盒case一种用于存储掩模基板及掩模版的封闭容器。装卸区1oadingandun1oadingzone给单片超大尺寸掩模基板人工或自动装卸留的操作空间。紧固区exc1usionzone紧固单片超大尺寸掩模基板用的弹性防震隔离材料区域。4要求装教盒尺寸所用符号的定义见表1。符号对应尺寸见图1和图2.表1装载盒尺寸所用符号表所用符号定义规格A1掩模版装载时与盒内固定块中间非接触区域由XI、X2、X3、WRYRY2、Y3、W2、H1及H2定义A2掩模版装载时与

4、盒内固定块接触区域由XI、X2、X3、WKYKY2、Y3、W2、H1及H2定义表1（续）所用符号定义规格X掩模版长边长度由掩模版尺寸定义Y掩模版短边长度由掩模版尺寸定义X1掩模版长边长度中点至A1区域边缘55mmX2掩模版长边长度中点至A2区域内部165mmX3掩模版长边长度中点至A2区域外部350mmW1撞模版长边长度边缘至盒内部270mmY1掩模版短边长度中点至A1区域边缘55minY2掩模版短边长度举IX及蒯部1165mmY3掩模版短吵，、Fjs.330mmW2/1.-mm掩多黑短小*中点u,II1H2般yj福盒体顶部0mmmmW3/费，A/条工聋版后念体7抽熨训图11CD制造过程所用超大尺寸掩模版的固定状态图21CD制造过程所用超大尺寸掩模版的装取状态