半导体分立器件直流参数测试设备技术要求和测量方法_SJT 11820-2022.docx

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1、ICS17.220CCS185中华人民共和国电子行业标准SJ/T118202023半导体分立器件直流参数测试设备技术要求和测量方法Techno1ogyrequirementsandtestmethodsfordiscretesemiconductorDCparameterstestinstruments2023-01-01实施2023T0-20发布中华人民共和国工业和信息化部发布-U1.-1刖S本文件按照GB1.1-2023标准化工作导则第1部分：标准化文件的结构和起草规则的规定起草。请注意本文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别专利的责任。本文件由全国电子测量仪器标准化技术委

2、员会提出并归口。半导体分立器件直流参数测试设备技术要求和测量方法1范围本标准规定了半导体分立器件直流参数测试设备（以下简称“分立器件测试设备”）的术语和定义、技术要求、测病方法。本标准适用于直流电压输I流测量范围不超过1试设备。2规范性引用文本文件没3术语和适用引特性件t期极饱和态电阻、外观要求直流在规注：二下列3.14极发射极ii传输比V参数：棚一源阈低电瓜、漏极电流、刖勺漏极电流、漏一源短路时栅极檄止电流.ParaIne表征半J数：击:参数：集电极一发射极击穿电压、发射极一集电极击:电极电流、栅极一发射极漏电源、正向跨导.r-5000V,直流电流输出和直流电1200A的分立器件测、，集电极

3、基极裁止:电极发射极饱和场效应品绝缘棚息极棚极阈电施、;4技术要求4.1分立器件测试设备外表不应分立器件测试设备外露件不能有影而:廿压、漏一源击穿电一发射极饱和电压、分立器件测试设备面板不应有影响读数的缺陷，机壳或铭牌上应标有产品名称、型号规则、出厂编号、生产厂家或商标标志。分立器件测试设备开关、按键应灵活可靠，接插件接触应保持良好。分立器件测试设备高压和大电流端应有明显标志。分立器件测试设备供电电源标志应正确无误。4.2功能要求4.2.1输出功能分立器件测试设备输出功能应包括直流电压输出、直流电流输出、脉冲电流输出等的一种或多种。4.2.2测量功能分立器件测试设备测量功能应包括直流电压测量、

4、直流电流测殳、脉冲电流测量等的一种或多种。4.2.3显示功能分立器件测试设备应具备产品标准规定的半导体分立器件直流参数显示功能,并显示与其量值对应的计量单位。当选择不同测量功能时，应能显示相应内容及结果。4.2.4自检功能分立器件测试设备如有自检功能，应正常通过。4.3电气性能要求分立耦件测试设备电气性能要求见表1.表1电气性能技术要求序号电气性能技术要求测量方法1直流电压输出误差不应超过-2%2%按4.3.3.12直流电压测量误差不应超过-2%2%按4.3.3.23直流电流输出误差不应超过-3%3%按4.3.3.34直流电流测量误差不应超过-3%3%按4.3.3.45脉冲电流输出误差不应超过

5、-2%2%按4.3.3.56脉冲电流测量误差不应超过-2%2%按4.3.3.67直流电阻误差不应超过T%1%按4.3.3.78直流参数测量误差不应超过-6%6%按4.3.3.85.1 5测量方法5.2 测量条件除非在产品标准中另有规定，测量条件应符合下述要求： 温度：15oC35QC；湿度：(2575)%RH； 大气压：86kPa-106kPa； 电源：分立器件测试设备产品标准规定的标称电源或交流电源; 状态：正常工作条件5.3 测量用仪器设备5.2. 1通用要求测量用仪器设备准确度应为分立器件测试设备的3倍及以上。5.2.2数字多用表直流电压测量范围：(0.011000)V,直流电流测量范围

6、：土(10AIOA)。电阻测量范围：0.0IQIGd5.2.3脉冲专用数字化仪测量范围：土(10)V.采样速率：IMSa/s。具备单次脉冲信号测量功能，上升时间优于10s05.2.4 脉冲分流器阻值范围：0.005C、0.01。、0.1。、1.功率范围：10W时间常数范围：10so5.2.5 电阻箱阻值范围：0.1-10Go5.2.6高压表直流电压测量范围：（K）（X）5000）Vo5.2.7校验件范围：覆盖分立器件测试设备的直流参数。最大允许误差：5%。重复性优于0.3%。年稳定性优于0.3%.5.3测量方法5.3.1外观测量方法目测和手动操作对外观进行检查。5.3.2功能测量方法分立器件测

7、试设备通电后，目测和手动操作结合对功能进行检查。5.3.3电气性能测量方法5.3.3.1直流电压输出误差测量步骤如下：a）按图1连接测量系统，当分立器件测试设备直流电压不大于IOOOV时使用数字多用表，当分立器件测试设备直流电压大于1000V时使用高压表；V1f分立H件确试设冬数字多用亮或高空表*IVI.图1直流电压输出测量框图b）测量点应均匀分布在所选定的量程范围内，不少于2个测量点，至少应包括量程上下极限值；c）设置数字多用表或i5压表工作于直流电压测量功能，选择分立器件测试设备测试参数为采用加压测流模式的参数，宜流电压输出设置为匕，读取数字多用表测量值;d）根据式（1）计算直流电压输出误

8、差N；如=炉X1O0%（1）式中：3v直流电压输出相对误差；%数字多用表（或高压表）直流电压测量值，单位为伏特（V）；Vy分立器件测试设备直流电压输出设置位，单位为伏特（V）。e）记录直流电压输出相对误差切为直流电压输出误差测量结果；f）选取其他测量点，重或C）到e）.5.3.3.2直流电压测量误差测量步骤如下：a）按图2连接测量系统，当分立器件测试设备直流电压不大于I（M）OV时使用数字多用表，当分OH敷字多用我成窃压衰O1立器件测试设备直流电压大于1000V时使用高压表；JhO-分立4件测试役告I1Q-O-电MKO-式中：而一直流电流输出相对误差；1。数字多用表直流电流测量值，单位为安培（

9、A）；h分立器件测试设备直流电流输出设置值，单位为安培（A）。e）记录直流电流输出相对误差而为直流电流输出误差测量结果；f）选取其他测量点，重复C）到e）.5.3.3.4直流电流测量误差测量步骤如下：a）按图4连接测量系统；图4直流电流测量测量框图b）测量点应均匀分布在所选定的量程范围内，不少于3个测量点，至少应包括量程上下极限值；c）根据分立器件测试设备带载能力选择电阻箱阻值，设置数字多用表工作于直流电流测量功能,选择分立器件测试设备测试参数为采用加压测流模式的参数，根据分立器件测试设备带载能力选择电阻箱电阻值，读取数字多用表测量值儿内分立器件测试设备电流测量值为自d）根据式（4）计算直流电

10、流输出误差而r；6R=与皿X1o0%（4）IqR式中：加I直流电流测量相对误差；/OR数字多用表直流电流测量值，单位为安培（A）；A分立器件测试设备直流电流测量值，单位为安培（A）.e）记录直流电流测量相对误差而R为直流电流测量误差测量结果。f）选取其他测量点，重复C）到e）.5.3.3.5脉冲电流输出误差测量步骤如下：a）脉冲电流输出测量点应均匀分布在所选定的量程范围内，不少于3个测量点，至少应包括量程上下极限值；b）根据脉冲电流输出测量点幅度与脉冲分流器电阻值乘积应位于脉冲专用数字化仪测量范围内,根据测量点选择合适的脉冲分流器，按图5连接测量系统；IPHO-分立H件in.O-QIHVHO,

11、收冲分潦暮On.V1O-Oh脉冲”用Bi字化仪-O1图5脉冲电流输出测量框图c）设置脉冲专用数字化仪工作于单次脉冲电流幅值测量,设置量程覆盖测量点,采样率为IMSas,选择分立器件测试设备测试参数为采用加流（脉冲电流）测压模式的参数，启动测量；d）记脉冲电流输出设置值为加，读取脉冲专用数字化仪脉冲电流测量值1p,根据式（5）计算脉冲电流输出误差而P；=100%（5）1OP式中：而P脉冲电流输出相对误差；Top脉冲专用数字化仪脉冲电流测量值，单位为安培（A）;即分立器件测试设备脉冲电流输出设置值，单位为安培（A）.e）记录脉冲电流输出相对误差为脉冲电流输出误差测量结果；f）选取其他测量点，重复b

12、）到e）5.3.3.6脉冲电流测量误差测量步骤如下：a）脉冲电流测量测量点应均匀分布在所选定的量程范围内，不少于3个测量点，至少应包括量程上下极限值；b）根据脉冲电流测量测量点幅度与脉冲分流器电阻值乘积应位于脉冲专用数字化仪测量范围内,根据测量点选择合适的脉冲分流器，按图6连接测量系统；图6脉冲电流测量测量框图c）设置脉冲专用数字化仪工作于单次脉冲电流幅值测量,设置量程覆或测量点,采样率为1MSMs,d)式中:f1：点，)到Q5.3.3.7U部标推荐使用四C）d)100%选择分立器件测试设备测试参独读取脉冲专用数字化。（6）计算脉冲电e)f)测量7a)b)KM值，单位为安值，单位为安测量误差测

13、量1M；【，当测:盖分立测量系设备脉冲电流显示值为心P，根据式(6)流测量相对误差;根据连线设置数盒直流电阻标称值为根据式（7）计算直流电阻点记分立器件测试设备自校准式中：直流电阻相对误差；R0数字多用表直流电阻测量值，单位为欧姆（C）;R分立器件测试设备自校准盒直流电阻标称值，单位为欧姆（C）。e）记录直流电阻相对误差赤为直流电阻误差测量结果；f）选取其他测量点，重复b）到e）.5.3.3.8直流参数测量误差测量步骤如下:a）根据分立器件测试设备测量类型及范围选择校验件，校验件种类及参数应覆盖分立器件测试设备测量需求；b）使用分立器件测试设备对校验件参数进行测量，测量结果为,校验件给出参考值为c）根据式（8）计算直流参数测量误差为；4=守X100%SO式中：次直流参数测量相对误差；&校验件给出参考值，单位按参数；S1分立器件测试设备参数测量结果，单位按参数。d）记录分立器件测试设备直流参数测量相对误差Js为直流参数测量误差测量结果；e）选取其他参数，重复b）到d）.