第三章采购需求.docx
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1、第三章采购需求第1包致密储层油气成藏实验研究中心聚焦离子束扫描电镜采购项目一、系统构成:聚焦离子束/扫描电镜双束工作站1套;(2)探测器:样品室内二次电子探测器1套;镜筒内高分辨二次电子探测器1套;样品室内无分割背散射电子探测器1套;镜筒内高分辨能量选择背散射电子探测器1套;样品束流检测器1套;单支气体注入系统不少于1套;(4)电制冷能谱仪1台;不间断稳压电源1套;样品室红外CCD不少于2套;80mm进样尺寸样品预交换室1套;(8)大面积成像、拼图软件和三维重构软件1套;(9)三级真空系统,机械干泵、分子泵、离子泵。二、技术参数:1 .电子束:1.1 电子枪类型:肖特基场发射灯丝;*1.2电子
2、枪基本参数:标准模式下二次电子分辨率优于0.9nm15KV,1.6nmIkV,3.0nm10nA,20kV;标准模式下加速电压范围不小于0.02kV30kV(非样品台减速模式),束流稳定性优于0.2%/h或者0.3%/1Oh;1.3放大倍率:12义2000k,根据加速电压和工作距离的改变,放大倍数自动校准,低倍率与高倍率无需模式更换;#1.4电子光路系统具备色差校正设计,如单色器或无交叉平行电子光路设计;能够实现低电压高分辨观察性能,能够直接观察不导电样品;1.5电子束位移量不小于200m(8.5mm工作距离条件下);#1.6物镜下方无漏磁,能够近距离高分辨观察和切割磁性样品,对背散射电子衍射
3、花纹无偏转;#1.7电子枪和离子枪在任何条件下可同时开启同时工作,能实现高分辨率观察下的边切边看实时观察。2 .禺子束:2.1 离子源种类:液态Ga离子源;*2.2离子束基本参数:离子源工作寿命不小于1500小时(发射电流为2A条件下),分辨率优于3.0nm30kV(不少于1000边的多边统计法),最大束流强度不小于IOOnA;2.3 放大倍率:300义500k义;2.4 加速电压:最低加速电压不高于0.5KV,最高加速电压不低于30kV;2.5 离子枪最大视野范围不小于580580m;2.6 离子束最小驻留时间不大于25ns。3 .探测器:3.1 1成像探测器配置不低于如下配置:样品室内二次
4、电子探测器、镜筒内高分辨二次电子探测器、样品室内无分割背散射电子探测器以及镜筒内高分辨能量选择背散射电子探测器,样品室内红外CCD相机探测器2套;3.2 样品束流检测器1套,束流检测范围不小于IPAIOmA;3.3 电子束在一个特定范围内进行扫描时,可同时开启四个成像探测器中的任意两个或者四个探测器同时成像;#3.4在进行样品三维重构工作中,可同时一次性获取样品同一位置的二次电子和背散射电子两套切片图像,同时获取同一位置的二次电子和背散射电子重构结果。4 .辅助功能系统:4.1 气体注入系统拥有独立的单气体注入系统,可注入Pt或Carbon前驱体,可在离子束、电子束诱导下进行可控沉积Pt或者C
5、arbon;*4.2可后续升级岩石岩屑矿物自动定量分析系统,最小矿物识别精度1m,矿物标准库有2000种以上含能谱图的矿物标准,自动控制电镜和能谱,并对样品进行数据自动采集。数据结果包括:样品矿物组成、样品矿物元素组成、矿物分布信息、矿物颗粒尺寸分布、单体矿物颗粒尺寸分布、矿物颗粒比重分布、矿物的连生关系、孔隙度及孔隙尺寸分布、矿物相关关系、孔隙与矿物相关关系、有机质与矿物相关关系,矿物包裹关系,矿物嵌步特征,单体矿物解离度分布;4.3 对于SEM和F1B软件程序开放AP1接口,后续可自行编程,开发软件新功能;4.4 三维重构系统:4.4.1 系统具备三维重构软件,具备离子束与电子束配合,自动
6、切片与成像,并合成三维图像的相应软硬件功能,实现三维重构;#4.4.2具备2D大面积图像获取软硬件系统。单幅图像最大存储分辨率可达50k40k,可实现全自动拼图。可选配额外的应用软件模块;具备大体积三维重构软件功能,最大3D成像:65m25m20m(20nmvoxe1s);10m5m2.5m(5nmvoxe1s);4.4.3 软件高阶模块:具备较强的后处理工具,例如自动拼图,图像校正和高级导入导出功能,图像回顾,双通道混合,导出为视频等;#4.4.4具备专业的三维数据分析软件,可进行高级三维重构后视图展示与三维高级数据处理与分析包括定量分析与统计分布、切片配准与图像滤波、三维图像数据分割与特征
7、提取、多模态融合与分析、三维模型生成与导出,几何与物理特性测算等(如可以实现三维数据处理,对样品三维数据结果进行相分割,孔隙率计算,裂纹及空的尺寸统计与空间分布、孔喉连接模拟等)并且可与其他三维软件兼容。5 .样品室以及样品台:#5.1样品室内部最小尺寸:如样品室为长方体则内部尺寸不小于:330mm(长)330mm(深)义26Omm(高),若样品室为圆柱体则内部尺寸不小于:33Omm(直径)义26Omm(高),配备不少于18个附件接口,2套红外CCD相机系统;#5.2配置六轴高精度超优中心全自动马达样品台;5.3X和Y方向移动范围不低于IOOmm,Z方向移动范围不低于50mm,M轴移动范围不低
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