集成电路用四甲基硅烷.docx

《集成电路用四甲基硅烷.docx》由会员分享，可在线阅读，更多相关《集成电路用四甲基硅烷.docx（8页珍藏版）》请在第一文库网上搜索。

1、ICS71.100.01H83YS中华人民共和国有色金属行业标准YS/TXXXX-XXXX集成电路用四甲基硅烷TCtramethy1si1aneforIntegratedCircuit（讨论稿）XXXX-XX-XX发布XXXX-XX-XX实施中华人民共和国工业和信息化部发布本文件按照GB/T1.1-2023标准化工作导则第1部分：标准化文件的结构和起草规则的规定起草。本文件由全国有色金属标准化技术委员会(SAC/TC243)、全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分技术委员会(SAC/TC203/SC2)提出并归口。本文件起草单位：洛阳中硅高科技有限公司本文件主要起草人：集成电路用四甲基硅烷

2、1范围本文件规定了四甲基硅烷的技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存和安全信息的要求。本文件适用于集成电路等电子信息行业制造中使用的的四甲基硅烷。2规范性引用文件下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款。其中，注日期的引用文件,仅该日期对应的版本适用于本文件；不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本文件。GB190危险货物包装标志GB/T3723工业用化学产品采样安全通则GB/T4844纯氮、高纯氮和超纯氮GB/T6324.8有机化工产品试验方法第8部分：液体产品水分测定卡尔.费休库仑电量法GB/T6680液体化工产品采样通则GB/T972

3、9化学试剂氯化物测定通用方法GB/T11446.1电子级水GB15258化学品安全标签编写规定GB/T25915.1洁净室及相关受控环境第1部分：空气洁净度等级GB30000.19化学品分类和标签规范第19部分：皮肤腐蚀/刺激GB/T34972电子工业用气体中金属含量的测定电感耦合等离子体质谱JJF1159四极杆电感耦合等离子体质谱仪校准规范JT/T617.4危险货物道路运输规则第4部分:运输包装使用要求3术语本文件没有需要界定的术语和定义。4技术要求4.1化学成分产品的化学成分应符合表1的规定。表1四甲基硅烷的化学成分项目指标四甲基硅烷（CH3）4Si）纯度（质量分数）/10-299.999

4、.99金属元素及其他兀素含量/（ngg）1i20.2B20.2Na50.5Mg20.2A120.2K50.5Ca50.5Ti20.2Cr20.2Mn20.2Fe50.5Co20.2Ni20.2Cu20.2Zn20.2V20.2微量水（质量分数）/K）-/20氯离子（质量分数）/io-610A2Ai各组分的峰面积（Vmin）o检测结果取两次测定的平均值，两次测定结果的绝对偏差应不超过0.002%o5.2金属元素及其他元素含量的测定5.2.1仪器设备5.2.1.1电感耦合等离子体质谱仪：符合JJF1159的技术指标要求。5.2.1.2电子天平：感量为0.1mg。5.2.1.3器皿：所有器皿应由全氟

5、烷氧基树脂（PFA）等耐氢氟酸腐蚀并可清洗的材料制成。5.2.2试剂与材料5.2,2.1洁净环境：预处理和测试区域应不低于GB/T25915.1中定义的5级洁净室要求。5.2.2.2 超纯水：电阻率大于18.2MQcm,每种金属杂质含量低于20ng/1。5.2.2.3 硝酸：质量分数65.0%68.0%,每种金属杂质含量均低于IOng/1。5.2.2.4 氢氟酸：质量分数45.0%50.0%,每种金属杂质含量均低于IOng/1。5.2.2.5 标准贮存溶液：铝、铁、钛、锂、钠、镁、钾、钙、铭、镒、钻、银、铜、锌、碑、钥、铅等浓度均为1mgm1,采用国内外可以量值溯源的有证标准物质。5.2.2.

6、6 2%硝酸溶液：硝酸:超纯水=2:98（V:V）。5.2.3分析步骤5.2.3.1在洁净的器皿（4.3.1.4）中，加入12滴432.2超纯水。5.2.3.2 量取2m1IOm1四甲基硅烷澄清液至433.1的器皿中，取样量根据杂质含量水平确定。5.2.3.3 在电加热设备上，微正压惰性气保护下将四甲基硅烷水解挥干。5.2.3.4 在密闭容器中使用氢氟酸消解，至四甲基硅烷中硅彻底消解。5.2.3.5向消解后的容器中加入4.3.2.6硝酸溶解杂质，冷却后定容。5.2.3.6 随同试样做空白试验。5.2.3.7 测试：测试过程参照SJT637的规定进行。5.3 微量水的测定按GB/T6324.8的

7、规定执行。5.4 氯离子的测定按GB/T9729的规定执行。5.5 外观用目视的方法检查。6检验规则6.1检查和验收6.1.1 产品应由供方技术监督部门进行检验，保证产品质量符合本标准及合同（或订货单）的规定，并填写质量证明书。6.1.2 需方应对收到的产品按本标准的规定进行检验，如检验结果与本标准及合同（或订货单）的规定不符时，应在收到产品之日起30日内，以书面形式向供方提出，由供需双方协商解决，如需仲裁，仲裁取样和检测由供需双方共同委托仲裁机构进行。6.2 组批产品应成批提交检验，每批由以同批原料生产的供应同一需方同一出货周期的产品为一批。6.3 取样产品采样安全应符合GB/T3723的规

8、定，对每个包装单位进行取样，取样量不少于200m1。6.4 检验结果的判定6. 4.1化学成分的检验结果若有一项不合格，允许在同批产品中加倍取样进行重复试验。重复试验结果如仍有一项不合格，则判该批产品不合格。7. 4.2外观的检验结果不合格时，则判该批产品不合格。7标志、包装、运输、贮存及质量证明书8. 1标志8.1.1 产品包装容器外应张贴标签，并注明：a）供方名称；b）商标；c）产品名称；d）订单号e）批号；f）净重；g）执行标准；h）生产日期；D储存期；J）容器编号k）符合GB/T191规定的包装储运图示标志。7.1.2产品的包装标志应符合GB190的相关规定，标签应符合GB15258、

9、GB30000.19规定的要求。YS/TXXXX-XXXX7.2包装、运输、贮存1.1.1 2.1产品包装容器应符合GB12463GB18564的规定。1.1.2 产品的最大充装量不高于容器体积的95%为宜。1.1.3 产品的运输和贮存应符合国务院令第344号、国际海运危险货物规则。1.1.4 产品在运输过程中应小心轻放，避免剧烈振动和日光曝晒，严禁倒置，防止沾污。1.1.5 产品应贮存在通风、阴凉、干燥的库房内，在符合上述储运条件下。1.1.6 产品储存期应符合GB/T26571,一般是自生产之日起一年。7.3随性文件每批产品应附有随行文件，其中除应包括供方信息、产品信息、本文件编号、出厂日期或包装日期外,还宜包括：a）产品质量证明书： 合同号； 产品名称； 批号； 容器编号和净重； 产品净重 生产日期； 检验日期； 检验项目及其结果； 储存期； 供方质检部门印章。b）产品按GB16483要求制定安全技术说明书和产品安全标签；c）其他。8合同（或订货单）内容需方可根据自身的需要，在订购本文件所列产品的订货单内，列出以下内容：a）产品名称；b）产品技术要求；c）产品净重；d）本文件编号；e）本文件中要求在订货单中注明的内容f）其他。