GBT-太阳能级多晶硅.docx

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1、ICS29.045CCSH82中华人民共和家标准GB/T25074XXXX代替GB/T25074-2017太阳能级多晶硅SoIar-gradepoIycrystaI1inesiIicon（讨论稿）国家市场监督管理总局分布国家标准化管理委员会发布本文件按照GB/T1.1-2023标准化工作导则第1部分：标准化文件的结构和起草规则的规定起草。本文件代替GB/T250742017太阳能级多晶硅。与GB/T250742017相比，除结构调整和编辑性改动外，主要技术变化如下：a）修改了规范性引用文件（见第2章，2017版的第2章，2010版的第2章）；b）更改了不同等级太阳能级多晶硅的技术指标（见第5章

2、，2017版的第5章，2010版的第4章）；c）增加了直径偏差的要求（见5.2.2,2017版的5.1,2010版的4.2.3）；d）更改了试验方法的内容（见第6章，2017版的第6章，2010版的第5章）；e）修改了组批的规定（见7.2,2017版的7.2,2010版的6.2）；f）更改了检验项目的要求（见7.3,2017版的7.3,2010版的6.3）；g）更改了检验结果判定的要求（见7.5,2017版的7.5,2010版的6.5）；h）删除了附录A太阳能级多晶硅参考技术指标导电类型和电阻率的要求。请注意本文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别专利的责任。本文件由全国半导体

3、设备和材料标准化技术委员会（SAC/TC203）与全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分技术委员会（SACTC203/SC2）提出并归口。本文件起草单位：洛阳中硅高科技有限公司、本文件主要起草人：本文件及其所代替文件的历次版本发布情况为：2010年首次发布为GB/T25074-20102017年第一次修订；本次为第二次修订。太阳能级多晶硅1范围本文件规定了太阳能级多晶硅的术语和定义、牌号及分类、要求、试验方法、检验规则以及标志、包装、运输、贮存和质量证明书等。本文件适用于以氯硅烷、硅烷为原料生长的棒状多晶硅或经破碎形成的块状多晶硅。2规范性引用文件下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成

4、本文件必不可少的条款。其中，注日期的引用文件,仅该日期对应的版本适用于本文件；不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本文件。GB/T1550非本征半导体材料导电类型测试方法GB/T1551硅单晶电阻率测定方法GB/T1553硅和楮体内少数载流子寿命测定光电导衰减法GB/T1557硅晶体中间隙氧含量的红外吸收测量方法GB/T1558硅中代位碳原子含量红外吸收测量方法GB/T4059硅多晶气氛区熔基磷检验方法GB/T4060硅多晶真空区熔基硼检验方法GB/T4061硅多晶断面夹层化学腐蚀检验方法GB/T14264半导体材料术语GB/T14844半导体材料牌号表示方法GB/T245

5、74硅单晶中V族杂质的光致发光测试方法GB/T24581低温傅立叶变换红外光谱法测量硅单晶中ni、V族杂质含量的测试方法GB/T24582酸浸取-电感耦合等离子质谱仪测定多晶硅表面金属杂质GB/T29057用区熔拉晶法和光谱分析法评价多晶硅棒的规程GB/T29849光伏电池用硅材料表面金属杂质含量的电感耦合等离子体质谱测量方法GB/T31854光伏电池用硅材料中金属杂质含量的电感耦合等离子体质谱测量方法GB/T35306硅单晶中碳、氧含量的测定低温傅立叶变换红外光谱法GB/T37049电子级多晶硅中基体金属杂质含量的测定电感耦合等离子体质谱法3术语和定义GB/T14264界定的术语和定义适用于

6、本文件。4牌号及分类太阳能级多晶硅产品牌号参照GB/T14844的规定表示。4.2分类太阳能级多晶硅根据外形分为块状和棒状，根据导电类型分为n型和P型，按技术指标的差别分为4级。5技术要求5.1技术指标太阳能级多晶硅的等级及对应技术指标应符合表1的规定。表1太阳能级多晶硅技术指标项目技术指标特级品1级品2级品3级品施主杂质含量（P、As、Sb总含量，以原子数计）cm32.OX1O133.OX1O134.5X10136.OX1O13受主杂质含量（B、AI总含量，以原子数计）cm37.5IO121.OX1O132.OX1O134.OX1O13碳含量（以原子数计）Cm一31.5IO162.OX1O1

7、62.5X10163.OX1O16基体金属杂质含量（Fe、CrNi、Ci1、Zn总含量），ng/g（ppbw）3102020表面金属杂质含量（FeCrNi、Cu、Zn、Na、Ti、Mo、W、Co总含量），ng/g（ppbw）10203050注：多晶硅的导电类型、电阻率、少数载流子寿命和氧含量由供需双方确定。5.2尺寸及允许偏差5.2.1破碎的块状多晶硅具有无规则的形状，尺寸随机分布，其线性尺寸应不小于3mm,不大于200mmo若有其他尺寸要求或单独包装时，可由供需双方协商确定。多晶硅混装比例如下：a）小于3m,混装时不超过总重量的1%；b） 3mm25mm,混装时不超过总重量的10%；c） 2

8、5mm70mm,混装时占总重量的30%50%；d） 70mm200mm,混装时占总重量的50%60%。5.2.2棒状多晶硅的直径、长度可由供需双方协商确定，并在合同中注明，其直径偏差应不大于5%。5. 3结构多晶硅应无氧化夹层和温度夹层。6. 4表面质量6.1.1 多晶硅免洗或经过清洗后应达到直接使用的要求，不同类型多晶硅表面质量的要求一般如下：a）致密料：表面颗粒凹陷深度小于5m,断面结构致密、外观无异常颜色、无氧化夹层；b）菜花料：表面颗粒凹陷深度5mm20mm,外观无异常颜色，无氧化夹层；c）珊瑚料：断面结构疏松、凹陷深度N20mm,外观无异常颜色，无氧化夹层。6.1.2 其他类型多晶硅

9、的表面质量要求，由供需双方商定。6试验方法7. 1对多晶硅进行施主杂质含量、受主杂质含量、碳含量检验前，应按照GB/T4059、GB/T4060或GB/T29057规定的方法制成单晶试样。6.2多晶硅中的施主杂质含量和受主杂质含量的检验按GB/T24574或GB/T24581的规定进行。仲裁检验按GB/T24581的规定进行。6.3多晶硅中碳含量的检验按GB/T1558或GB/T35306的规定进行。仲裁检验按GB/T35306的规定进行。6.4多晶硅基体金属杂质含量的检验按GB/T31854或GB/T37049的规定进行。仲裁检验按GB/T37049的规定进行。6.5多晶硅表面金属杂质含量的

10、检验按GB/T24582或GB/T29849的规定进行。仲裁检验按GB/T29849的规定进行。6.6多晶硅导电类型的检验按GB/T1550的规定进行。6.7多晶硅电阻率的检验按GB/T1551的规定进行。6.8多晶硅少数载流子寿命的检验按GB/T1553的规定进行。6. 9多晶硅中氧含量的检验按GB/T1557或GB/T35306的规定进行。仲裁检验按GB/T35306的规定进行。6.10块状多晶硅的尺寸分布范围用过筛检验，或用供需双方商定的方法检验。棒状多晶硅的尺寸用相应精度的量具测量。6. 11多晶硅结构（氧化夹层、温度夹层）的检验按GB/T4061的规定进行。6.12多晶硅的断面边缘颗

11、粒尺寸用相应精度的量具测量，其他表面质量目视检查。7检验规则7. 1检查和验收7.1.1 产品应由供方质量监督部门或第三方进行检验，保证产品质量符合本文件及订货单的规定，并填写产品质量证明书。7.1.2 需方可对收到的产品按本文件的规定进行检验。若检验结果与本文件或订货单的规定不符时，应在收到产品之日起3个月内以书面形式向供方提出，由供需双方协商解决。7.2组批产品应成批提交验收，每批应由同一规格、同一等级，同一工艺条件生产并可追溯生产条件的多晶硅组成。7.3检验项目7.3.1每批产品应对施主杂质含量、受主杂质含量、碳含量、基体金属杂质含量、表面金属杂质含量、尺寸、结构和表面质量进行检验。7.

12、3.2导电类型、电阻率、少数载流子寿命、氧含量由供需双方协商确定是否检验并在订货单中注明。7.4取样及制样7.4.1每批次多晶硅随机取样，取样数量由供需双方协商确定。7.4,2供方多晶硅样棒的钻取按GB/T4059、GB/T4060或GB/T29057的规定进行。7. 4.3电阻率的取样和制样按GB/T4059、GB/T4060或GB/T29057的规定进行，氧化夹层和温度夹层的取样及制样按GB/T4061的规定进行。仲裁时取样及制样由供需双方协商确定。7.5检验结果的判定7.5.1 多晶硅的施主杂质含量、受主杂质含量、碳含量、基体金属杂质含量、表面金属杂质含量的检验结果中有任意一项不合格时，

13、则加倍取样对该不合格的项目进行重复试验，重复试验结果仍不合格，判该批产品不合格。仲裁检验不再重复取样。7.5.2 导电类型、电阻率、少数载流子寿命、氧含量、尺寸及允许偏差、结构、表面质量的检验结果的判定由供需双方协商确定。8标志、包装、运输、贮存和质量证明书8. 1标志包装箱（桶）外应标有“小心轻放”及“防腐、防潮”字样或标志，并标明：a）供方名称；b）需方名称；c）产品名称、牌号；d）产品数量、净重。8.2 包装多晶硅装入洁净的高纯树脂材料包装袋内，密封，致密料装入双层洁净的包装袋，然后再将包装袋装入包装箱或包装桶内。块状多晶硅包装依据客户要求；棒状多晶硅用箱子固定、并用双层洁净的高纯树脂包装袋封装。包装时应防止包装袋破损，以避免产品外来沾污，并提供良好保护。8.3 运输产品在运输过程中应轻装轻卸，勿压勿挤，并采取防震措施。8.4 贮存产品应贮存在清洁、干燥环境中。8.5 质量证明书每批产品应附有质量证明书，其上注明：a）供方名称；b）产品名称、牌号；c）产品批号；d）产品毛重、净重；e）各项检验结果及检验部门印记；f）本文件编号；g）出厂日期。9订货单（或合同）内容本文件所列产品的订货单应包括下列内容:a）产品名称；b）产品牌号；c）重量；d）本文件编号；其他。