GBT-埋层硅外延片.docx

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1、国家标准埋层硅外延片（送审稿）编制说明一、工作简况1、立项目的和意义埋层硅外延工艺是IC芯片工艺中一道必不可少的工序，通过在芯片的埋层电路片上做选择性外延生长，将掺杂剂植入芯片电路中，能够有效改善心芯片器件性能指标。国内的埋层硅外延工艺技术也已成熟运用多年，而且越来越多的国际性半导体厂商选择在中国进行加工与贸易，迫切需要出台埋层硅外延片产品相关的国家标准，规范埋层硅外延片的各项技术指标，提高国内整体的埋层硅外延片制造水平，赶超国际先进水准，支撑国内半导体芯片产业的发展，2、任务来源根据国家标准委关于下达2023年第一批国家标准制修订计划的通知（国标委综合：202317号）的要求，由南京国盛电子

2、有限公司负责埋层硅外延片的编制，项目计划编号：20230133-T-469,计划于2023年完成。3、项目承担单位概况南京国盛电子有限公司成立于2003年，是中国电科半导体材料公司控股的国有企业。国盛公司作为国内最早生产硅外延片的专业企业，拥有4-8英寸硅外延片自主研发的批生产技术和多项发明专利，承担了国家科技重大专项、国家高技术产业化项目及省科技成果转化、转型升级等多项研制任务，具有较高的行业地位，获得包括北京燕东、华润微电子、中航微电子、台积电中国等多家知名高端半导体企业对埋层硅外延片加工的质量体系认证，目前4-8英寸埋层硅外延片每年加工量达到100万片，具备编制本标准的能力和资质。4、主

3、要工作过程2023年6月，南京国盛电子有限公司接到埋层硅外延片国家标准正式下达计划后，组建了由南京国盛电子有限公司、南京盛鑫半导体材料有限公司、*、*、*等公司专家成立的标准编制组。编制组详细讨论并认真填写了标准制定项目任务落实书，广泛调研收集整理了国内外与本标准项目相关的标准、论文、专著等文献资料，结合目前埋层硅外延片的客户端产品质量需求情况，于2023年1月完成了标准讨论稿。2023年2月，由全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会主持在江苏省徐州召开了埋层硅外延片标准的第一次会议，共有中国电子科技集团公司第四十六研究所、有研半导体硅材料股份公司、中环领先半导体材料有限公司、浙江金瑞泓

4、科技股份有限公司等24家单位的35名专家参加了本次会议，与会专家对标准的讨论稿进行了认真、热烈的讨论，对该标准的技术要点和内容进行了充分的讨论，并提出了相应修改意见。根据徐州会议的要求，编制组对讨论稿进行了修改及相关内容的补充和完善，于2023年6月形成了征求意见稿。2023年6月，编制组将征求意见稿发函浙江金瑞泓科技股份有限公司、中环领先半导体材料有限公司、上海晶盟硅材料有限公司、杭州中欣晶圆半导体股份有限公等相关单位征求意见。根据行业内征求的意见，结合目前行业的实际情况，充分考虑行业的可操作性，编制组对征求意见稿进行修改，形成了预审稿。2023年9月12日，由全国半导体材料标准化分技术委员

5、会组织，在江苏省如皋市召开埋层硅外延片标准第二次工作会议（预审），共有上海晶盟硅材料有限公司、杭州中欣晶圆半导体股份有限公、浙江金瑞泓科技股份有限公司等26家单位36位专家参加了本次会议。与会专家对标准资料从标准技术内容和文本质量等方面进行了充分的讨论。会上对编制组提交的预审稿达成修改意见，具体见意见汇总表（提出单位为预审会）。会后,标准编制组根据预审会的要求对标准进行修改，形成了送审稿。5、标准主要起草人及起草工作本标准编制组起草人均从事硅外延行业多年，有丰厚的产品生产经验。起草人的工作包括收集和整理相关文献资料，制备不同规格的样品，撰写标准和相关文件等。二、标准编制原则和确定标准主要内容的

6、论据1、编制原则本标准起草单位自接受起草任务后，成立了标准编制组负责收集生产统计、检验数据、市场需求及客户要求等信息，初步确定了埋层硅外延片标准起草所遵循的基本原则和编制依据：D查阅相关标准和国内外客户的相关技术要求；2）根据国内埋层硅外延片生产企业的具体情况，力求做到标准的合理性和实用性；3）按照GB/T1.1的要求进行格式和结构编写。2、确定标准主要内容的论据本标准结合我国行业内埋层硅外延片的实际生产和使用情况，考虑埋层硅外延片的发展和行业现状制定而成。主要内容是各项技术指标、参数、公式、性能要求、试验方法、检验规则等。埋层硅外延片的关键评判指标，具体有：埋层硅外延片外延前的质量要求、埋层

7、硅外延片中的图形漂移率、图形畸变率，以及埋层硅外延层的电阻率和允许偏差、厚度及厚度变化、径向电阻率变化、硅外延层纵向电阻率分布、正/背面质量、内部缺陷、几何参数、表面金属杂质、表面颗粒等。3、主要内容3.1、 产品分类3.1.1、 K埋层硅外延片按导电类型分为N型和P型。N型外延层掺杂元素为磷或碑，P型外延层掺杂元素为硼。3.1.2、 埋层硅外延片按按直径尺寸分为76.2mm、100mm125mm150mm200mmo3.1.3、 埋层硅外延片按晶向分为111、100、等。3. 2、技术要求4. 2.1衬底材料有埋层电路的硅片经硅外延工艺后，在其正表面上形成的一层薄膜硅即是埋层硅外延片。因此埋

8、层硅外延片加工前的衬底情况、埋层电性、埋层的表面质量，均对埋层硅外延片的成品质量有较大影响。 埋层片衬底的掺杂元素和电阻率要求应符合表1的规定，其他包括埋层片衬底的径向电阻率变化、厚度、径向厚度变化等应符合GB/T12964、GB/T14139、GB/T35310的相关规定，其质量由需方保证。表1埋层片衬底质量要求导电类型掺杂元素电阻率cmNP,As,Sb20PB100 埋层的注入元素有As、P、Sb、Bo 埋层的表面质量要求应符合表2的规定，其他包括埋层的晶格完整性、几何参数、表面金属、表面颗粒等应符合GB/T12964、GB/T14139、GB/T35310的相关规定，其质量由需方保证。表

9、2埋层片表面质量要求氧化层去除情况宏观表背面质量微观表面图形质量日光灯下检验要求氧化层完全去除，无黑点、黑斑等氧化层残留痕迹聚光灯下检验要求表面激光标号清晰,表面/背面无划伤、大亮点等缺陷，背面无可见环形区域；无（尖峰、缺角、裂纹、雾、针孔）；显微镜下检验要求无划伤、无色差、图形清晰，无显著缺陷（滑移线、层错、位错等微观缺陷）3.2.2外延层3.2.2.1图形规格参数埋层硅外延片的图形漂移率和图形畸变率应符合表3的规定o表3图形漂移率和图形畸变率项目要求图形漂移率0.9+0.1图形畸变率1.53.2.2.1.1图形漂移率是埋层衬底上的图形宽度和外延层表面图形宽度之差与外延层厚度的比值如图1所示

10、，按式（I）计算：=dt（1）式中：A1图形漂移率d外延层上图形宽度与衬底上图形宽度的偏离，单位为微米（口m）;t外延层厚度，单位为微米（Un1）。3. 图1外延片图形图号示责图,其中AM=MB,CN=ND4. 2.2.1.2图形畸变率是埋层衬底表面图形中心点和外延层表面对应的图形中心点之间的横向距离与外延层厚度的比值如图2所示，按式（2）计算：2=（a-b）/1（2）式中：2图形畸变率a外延层上的图形宽度，单位为微米（m）;bt-当衬底衬底上的图形宽度，单位为微米（口m）;外延层厚度，单位为微米（Um）O图2外J片图形晴变示意图3.2.2.2外延层其他参数指标埋层硅外延片外延层的电阻率和允许

11、偏差、厚度及厚度变化、径向电阻率变化、硅外延层纵向电阻率分布、正/背面质量、内部缺陷、几何参数、表面金属杂质、表面颗粒等技术指标同GB/T12964（硅外延片）、GB/T35310（20Omm硅外延片）的各项规定规定三、标准水平分析埋层硅外延片目前尚无相应的国家标准和行业标准，本标准是新制定的国家标准，主要目的是规范和统一埋层硅外延片的相关性能项目，便于采购订单制定和生产厂家对产品需求和标准的识别。本标准达到国内先进水平。四、与我国有关的现行法律、法规和相关强制性标准的关系。本标准与国家现行法律、法规和相关强制性标准不存在相违背和抵触的地方。五、重大分歧意见的处理经过和依据。JXjo六、标准作为强制性标准或推荐性标准的建议建议本标准作为推荐性国家标准发布实施。七、代替或废止现行有关标准的建议O八、其他需要说明的事项本标准根据目前国内埋层硅外延片的实际生产现状和订货合同情况制定，考虑随着新材料的开发使用和生产装备的更新，如果以后生产或订货合同中对产品的性能指标有其它具体需求，可在下一版中进行补充修订。九、预期效果本标准的制定和推广，有利于规范行业的发展，对国内埋层硅外延片的生产具有促进作用。